中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293766853 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600は、ウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、製品のウェーハを分析し、プロセスを監視するように設計されています。光学プロフィロメトリー、散乱計、走査型電子顕微鏡（SEM）の組み合わせを提供します。KLA OP 2600の光学プロフィロメトリーは、赤外線ビーム光学ユニットを使用して、任意の角度の発生角度から3D地形測定を取得します。このデータは、高解像度トポロジ画像と定量プロファイルを生成するために使用されます。機械は正確に粗さ、ステップの高さ、穀物のサイズおよび他の表面特性を測定できます。TENCOR OP 2600の散乱計モジュールは、ウェーハなどの光学的外観特性評価用に設計されています。このツールは、重要な性能評価に不可欠な優れたフォトメトリック精度を備えています。角度、色、パターン欠陥、傷、ヘイズ、およびその他の表面欠陥の正確な測定を提供します。THERMA-WAVE OP 2600の走査型電子顕微鏡モジュールは、マイクロスケールのイメージングと解析を提供します。その電子光学アセットは、画像解像度とディテールを強化します。このモジュールは、粒度、粒子汚染、気孔率を測定するために使用できます。また、ウェーハの3Dサーフェスをトップダウンと断面の両方のモードで検査することもできます。OP 2600には、空気汚染を低減する低排出モデルもあります。メンテナンスや除染のためにシャットダウンすることなく、長時間の連続運転を可能にします。また、この機器には直感的なソフトウェアがあり、オペレータは起動時間を最小限に抑えてさまざまなテストおよび測定手順を迅速に実行できます。全体として、KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600は強力で汎用性の高いウェーハテストおよび計測システムです。光学プロフィロメトリー、散乱計、走査型電子顕微鏡を組み合わせることで、ウェーハ表面の正確かつ詳細な解析が可能になります。低発光ユニットと直感的なソフトウェアにより、ダウンタイムを最小限に抑えた長時間かつ効率的な運用が可能です。