中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293634793 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600は、主に半導体業界で使用するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、最大12のウェーハサイトで並列に計測を同時に行うことができ、小さなフットプリントで最大のスループットを実現します。ステッププロファイル、ラインスキャン、電気漏れ、静電容量、抵抗など、幅広い測定が可能です。機械のソフトウェアはユーザーフレンドリーで、カスタマイズ可能なスクリーンを可能にし、セットアップし、使用することを容易にします。KLA OP 2600は、KLA 2D検査ソフトウェアと統合されており、優れたデータ収集および分析機能を提供します。さらに、このツールは業界標準の品質プロセスに準拠するように設計されており、フロントエンドおよびバックエンドの生産プロセスでの使用に適しています。この資産には、特許取得済みのレーザーベースのプラットフォームを使用してウェーハの機能と欠陥を正確に検出するTENCOR高速FlexTech検出モデルが搭載されています。これにより、装置は25ナノメートルの小さい特徴を測定することができます。また、6スポット光学検出器と精密顕微鏡を備えており、測定精度を確保しています。このユニットは、1サイクルあたり12 150mmウェーハの容量を持ち、ユニバーサルピンセット対応ロボットを備えており、柔軟性を高めています。さらに、最大ウェーハスループットを実現する12個の独立した電子計測チャネルを搭載しています。さらに、自動ウェーハ検証、フォーカス認識、アライメント、自動再スキャン機能など、幅広い自動機能を備えています。ウェーハ収縮、CD/CDバリエーション、Focus/NPDFなど、さまざまな計測技術に対応しています。このツールのソフトウェアは、プロセス最適化ツールを統合し、プロセスの有効性に関するリアルタイムのフィードバックを提供することにより、プロセス制御を強化し、市場投入までの時間を短縮するように設計されています。さらに、アセットは柔軟性が高いように設計されており、さまざまな3Dイメージングオプションを提供し、他のさまざまなソフトウェアパッケージと統合しています。全体として、TENCOR OP 2600はウェーハテストと計測のための完全なソリューションを提供します。そのユーザーフレンドリーでカスタマイズ可能なソフトウェアは、セットアップが簡単なプラットフォームを提供します、その高度な検出モデルと自動化された機能の広い範囲は、正確かつ信頼性の高い結果を保証しながら、。