中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE J-109 #9209398 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE J-109は、半導体チップの電気的および物理的特性を迅速かつ正確に測定するために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、KLA特許取得済みのテンソル製品ラインとTENCOR Off-Axis Ion Beam Etch （OAIBE）技術に基づいています。このユニットは、最大200mmのサイズのウェーハを検査し、最大10nmの解像度で抵抗や容量などの電気パラメータを測定する機能を備えています。機械のOAIBE機能は、トレンチとビアを組み込んだウェーハを分析し、深さを10nmまで測定することができます。物性に関しては、KLA J-109は100nm分解能で線幅、ゲート長、接触サイズなどの重要な寸法を測定することができます。TENCOR J-109の測定精度と再現性は、8nmレーザー干渉計や14ビットCCDカメラなどの高度なハードウェア機能と、ビーム変形補償や多軸スキャンなどの高度な機能によって可能になります。これらの機能の組み合わせにより、高精度、再現性、信頼性の高い結果が保証されます。このツールは、オペレータとメンテナンススタッフの両方に使いやすさを提供するように設計されています。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスは、レシピウィザード、レシピ共有、パラメータ最適化など、さまざまな便利な機能にアクセスできます。メンテナンススタッフは、Webベースのメンテナンスポータル、リモートメンテナンスポータル、技術者のツールボックスなど、さまざまなツールにアクセスできます。J-109は、幅広いウェーハ検査および計測アプリケーション向けに設計された汎用性の高い資産です。それは新しいプロセスの研究開発、生産プロセスの監視および欠陥品の検出そして分離で使用することができます。モデルの大容量（最大200mmウェーハ）と高解像度（10nmまで）の機能により、IC製造、パッケージングおよびテスト、プリント基板、ウェーハ印刷などの幅広い業界で使用できます。THERMA-WAVE J-109は、半導体チップの電気的特性と物理的特性の両方を迅速かつ正確に測定するために設計された、高度でユーザーフレンドリーなウェーハ試験および計測機器です。大容量（最大200mmウェーハ）、高解像度（10nmまで）、高度なハードウェアおよびソフトウェア機能により、幅広いウェーハ検査および計測アプリケーションに最適です。