中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200 #9240151 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200は、さまざまな半導体ウェーハ製造プロセスで最大のスループットと精度を得るために設計されたハイエンドのウェーハ試験および計測機器です。この高度なシステムは、非接触光学、接触光学、抵抗、およびShearforceの4つの高度なはんだ付け技術を1つに統合しており、それぞれがウェーハに関する重要なデータを収集できます。KLA FX 200は、最新のイメージングおよび光学システム、熱電対、デジタルCCD/CMOS（充電結合デバイスまたは補完的な金属酸化物半導体）カメラ、および半導体ウェーハを最適に分析するための高度な光学機器を使用しています。TENCOR FX 200には、キャプチャ、ディスプレイ、および各ウェハスキャンの結果のログなど、特定の手順を実行およびプログラムするための専用ソフトウェアが必要です。ソフトウェアは、グラフィカルユーザーインターフェイスを使用して、データの簡単なナビゲーションと解釈を可能にします。このユニットはまた、完全な記録保持機能を備えた拡張ログブック機能を提供します。内蔵の熱電対測定機により、温度制御を厳密に行いながら、ウェーハを確実に加工できます。FX 200は、精密かつ正確な検査を保証するために、いくつかの高度な光学技術を使用しています。これには、ウェーハ全体を大規模に分析するための非接触光学ツールが含まれます。スポット欠陥をマッピングするための接触光学資産。そして詳細なサブサーフェスデータのためのshearforceのイメージ投射。さらに、このモデルは抵抗と寿命を測定するための抵抗計も備えています。THERMA-WAVE FX 200装置は、自動欠陥マッピング、動的フィーチャー認識、自動ベンチマーク機能など、最高の精度を確保するための他の多くの機能を提供します。また、データの正確性を検証し、ウェーハの品質を保証するための統合されたユーザー定義の品質管理システムも含まれています。さらに、KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200は、ウェーハ表面および製造プロセスのデジタルビデオを作成するためのオンザフライのビデオ測定を行うことができます。全体として、KLA FX 200は、半導体製造プロセスの歩留まり、スループット、精度を最適化するように設計された高度なウェーハ試験および計測ユニットです。この包括的なマシンは、検査と品質管理を確実にするための強力な統合技術とソフトウェアを誇っています。