中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200 #9236721 を販売中

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200
ID: 9236721
ウェーハサイズ: 12"
Film thickness measurement system, 12".
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200は、ウェーハの表面形状、厚さ、および地形を正確かつ正確に測定する最先端のウェーハ試験および計測機器です。高度なセンサーと光学システムを活用することで、これらの測定を迅速かつ効果的に行うことができます。KLA FX 200は「、自動ウェーハプロファイリング」「、3平面スライス測定」「、視線干渉」などの独自技術を実装しており、表面欠陥、ウェーハ曲率などの特性を0。5 nmまで精度で正確に解析することができます。さらに、TENCOR FX 200には、試験および計測プロセスのシームレスな自動化を可能にする自動ウェーハハンドリングユニットが装備されています。THERMA-WAVE FX 200には、さまざまな種類の表面欠陥やその他の異常信号を検出できる高度なアルゴリズムが含まれています。このマシンは、ウエハ表面全体をスキャンして、ヒロック、ピッティング、結晶の見当違いなどの魅力的な欠陥を高精度で検出することができます。ピンホール、有限エッジ線、その他の微妙な特徴など、非常に微細な表面の特徴を検出して測定することもできます。さらに、このツールは、強力な光学アセットと高度なアルゴリズムにより、複数の取得を迅速かつ効率的に実行することができます。これにより、お客様は、ダウンタイムを大幅に削減してオンサイトのリアルタイムのインライン生産を実行し、製品品質を向上させることができます。FX 200モデルは、非接触測定と接触測定の両方が可能です。強烈な光源を使用して、ウェーハの表面特性を高精度に測定します。さらに、ウェーハの試験および測定に関する詳細なグラフィカル情報を提供することができるユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されています。これにより、プロフェッショナルでも経験の浅いユーザーでも使いやすいシステムになります。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200ユニットは、ウェハテストと計測のための究極のソリューションです。最先端の機能と正確な結果を組み合わせることで、研究者やメーカーは効率的かつ費用対効果の高い方法でウェーハを正確かつ迅速に監視および分析することができます。
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