中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200 #9211045 を販売中

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ID: 9211045
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200は、洗練されたウェーハテストおよび計測システムであり、ウェーハデバイスの正確かつ正確な測定に最適化されています。高感度デジタルシグナルプロセッサを搭載し、20ナノメートルのディフェクトをスキャンし、多軸光学ヘッド構成を最適化し、高スループット性能を実現します。さらに、この機械の精密モーションエンコーディング技術により、自動プローブはプローブを正確に位置決めしてウェーハ上のさまざまな場所をサンプリングすることができます。KLA FX 200には、さまざまな自動試験ソリューションと、さまざまな試験および計測要件に適合する測定プローブの選択肢が用意されています。ウェーハ表面とプローブを整列させ、表面形状を正確に測定するオートフォーカスツールを備えています。オートフォーカス・アセットには、サンプルの高さと向きのばらつきを補うように設計されたデジタル画像処理アルゴリズムも含まれています。このモデルには、高速光学検査、バーンインテスト、RF送信および受信機能、熱解析など、多くの高度な試験および計測ツールが含まれています。ロジック、DRAM、 SRAM、 EPROM、バイポーラデバイスなどのウェハタイプに対応しています。さらに、デバイスのさらなる特性評価のために、電流、電圧、タイミング、静電容量など、さまざまな解析パラメータを備えています。また、業界標準のさまざまなソフトウェアやその他のプログラミング言語をサポートしているため、既存の製造ラインに簡単に統合できます。TENCOR FX 200は包括的なデータ表示と分析機能を備えており、測定結果のレビューと解釈が可能です。また、操作が簡単な直感的なユーザーインターフェイスを備えており、スタンドアロン構成で操作するか、中央データ管理ユニットに接続することができます。自動故障診断機を搭載しており、測定作業中に障害や問題を検出して報告し、製品の品質と歩留まりを保証します。さらに、THERMA-WAVE FX 200ツールは、プロセス制御と品質保証のための迅速かつ正確で一貫した測定を提供します。数百のウェーハ上で電気パラメータを同時にテストすることができ、サイクルタイムを短縮するための迅速なフィードバックを提供します。この資産には、オペレータに潜在的な問題を警告するアラーム指標と、さまざまなアプリケーションに合わせたさまざまなモーションコントロールオプションが装備されています。全体として、FX 200モデルを使用すると、製造メーカーは非常に正確で一貫したウェーハテストと計測を行うことができます。高感度デジタルシグナルプロセッサ、多軸光学ヘッド構成、自動化されたプローブは、信頼性と再現性に優れた性能を提供します。スケーラブルな設計、直感的なユーザーインターフェイス、自動故障診断装置を備えたこのシステムは、ウェーハテストと計測のための包括的なソリューションをメーカーに提供します。
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