中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE 5220Xp #293656107 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE 5220Xpは、高度なウェーハ分析のための強力な光学、機械、および電気試験機能を組み合わせたウェーハ試験および計測機器です。システムの主なコンポーネントには、検査顕微鏡、多軸ナノポジショナー、マイクロフォージモジュール、温度マッピングモジュールがあります。この顕微鏡は、検査および計測機能を提供し、デバイス構造の自動観察と測定を可能にします。多軸ナノポジショナーにより、電気試験中のプローブの正確な位置決めが可能です。マイクロフォージモジュールは、製造プロセス中にデバイスを正確に調整します。温度マッピングモジュールは、温度範囲にわたってデバイスの正確な温度測定を行う機能を提供します。KLA 5220Xpユニットは、広範囲の視野角と倍率にわたって高解像度の画像を提供するように設計されたトリプル検出イメージングマシンを使用しています。これは、高解像度の対物レンズ、CCDカメラ、および充電結合デバイス（CCD）検出器を使用することによって達成されます。トリプル検出ツールは、試験構造の正確なアライメントを可能にし、正確な結果と正確な測定を保証します。TENCOR 5220Xpは、ウェハマッピングとアライメントにステージオートメーションアセットを使用します。ステージオートメーションモデルは、リニアモータを使用してダイヤモンドチッププローブヘッドを正確に移動させるとともに、高精度のロータリーステージを使用して試験構造の正確な位置決めを行います。この装置はまた、最先端の高速スキャン、デュアルレーザーシステムを使用して、試験構造の高解像度サーマルマッピングを提供します。これにより、熱効果の迅速な検出と正確な定量化を可能にし、処理環境の精密制御を可能にします。さらに、このユニットは、その場で洗練された電気試験機能を採用しています。これには、抵抗、静電容量、インダクタンス、周波数応答などの物理パラメータを迅速かつ正確に測定する機能が含まれます。このマシンには、ウェーハレベルでテストするためのオンチップ試験機能も含まれています。5220Xpツールは、ウェーハテスト、計測、および検査作業において、比類のない精度と精度の利点をメーカーに提供するように設計されています。これは、実績のある光学、機械、および電気試験機能と最先端の温度マッピングおよび現場での電気試験機能を利用して、製造業者が正確かつ正確な測定を実行できるようにします。これにより、メーカーは、彼らが得ているテスト結果が信頼性と最高品質であることを確信することができます。