中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE 45-014824 #293672012 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE 45-014824ウェーハ試験および計測装置は、迅速かつ正確なウェーハ測定用に設計されています。自動化された堅牢なシステムにより、重要な寸法、パターンジオメトリ、エッジパラメータ、ステップを迅速かつ便利にスキャンできます。このユニットは、平らなウェーハだけでなく、曲線や隆起バンプを測定する能力を持っています。KLA 45-014824マシンは、半導体ウェーハ上のさまざまな機能を正確に測定できる包括的なツールを提供します。グレースケールカメラを使用して2次元（2D）干渉画像を撮影し、臨界寸法（CD）パラメータを測定します。また、グルーブパラメータを識別および測定するためのレーザパターン認識アセットを採用しています。モデルはまた、ステップの高さを測定する機能を持っています。ユーザーフレンドリーなインターフェースとさまざまな表示オプションを備えており、測定時の利便性と信頼性を提供します。また、CD統計解析などのデータ解析機能も備えています。また、4軸ウェーハステージに統合されており、測定中の自動ステップを可能にします。TENCOR 45-014824は、複数のヒントから同時に測定するための視野が重なった高速で信頼性の高い測定用に設計されています。その動的相互作用制御技術は、振動と環境ドリフトを排除し、ウェーハからウェーハまで一貫して信頼性の高い測定を支援します。高電圧FEE回路を採用しており、小規模なパターン変動に関係なく再現可能なCD測定が可能です。このマシンには、クローズドループのフィードバックを備えた再現性モニターなど、正確な測定を保証するさまざまな機能が装備されています。ウェーハを迅速かつ便利に測定するために自動ルーチンが提供され、カスタム測定スクリプトを作成するためのレシピライブラリが含まれています。さらに、このツールはオープンアーキテクチャを備えているため、機能認識とデータ統合のためのさまざまな計測ツールと統合できます。全体として、THERMA-WAVE 45-014824は、複数のパラメータと機能のウェーハを効率的に測定するために設計された高度なウェーハテストおよび計測資産です。このモデルは、業界をリードするパフォーマンス、スループット、精度を提供し、他の計測ツールと容易に統合できます。これは、高度な半導体製造および生産アプリケーションでのウェハ検査およびテストに最適です。