中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE 2600 #293759833 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE 2600は、半導体業界の幅広い用途に適した最先端のウェーハ試験および計測機器です。その強力なプラットフォームにより、標準的なウェーハサイズでさまざまな種類のプロセス機能の詳細な測定が可能になります。このシステムは、迅速かつ正確な欠陥観察、重要な（事前に）プロセスパラメータ検査、および複数の製造プロセスのインラインモニタを提供します。このユニットは、ウェーハの誘電層のサブミクロン欠陥を確実に検出し、デバイスの品質を向上させる自動試験ステージを備えています。イメージセンサーを使用して、さまざまなプロセス段階に存在する構造欠陥を検出し、明確に区別します。KLA 2600独自のKLAテクノロジーは、製造上の異常を検出し、歩留まりを改善するために必要な設計変更を特定することに焦点を当てたプロセスステップデータの臨界分析を提供します。さらに、異なるプロセスステップの正確なオーバーラップを分析することができます。これは、回路デバイス設計にとって非常に貴重です。この技術は、デバイスのサイズと形状の測定を可能にする高度な点間幾何学的解析の基礎でもあります。TENCOR 2600は、利用可能な最も汎用性の高いプロセス制御システムの1つです。その洗練されたソフトウェアライブラリを使用すると、集積回路の特定の層を分析し、製造サイクルの早い段階で微細な欠陥をスキャンし、生産ラインに沿って汚染の疑いがあることを検出することができます。自動欠陥検査、オートフォーカス、自動ステージスキャン、エッジ除外機能など、マシンの多くの機能は、重要なプロセスパラメータの効率的で正確な測定を可能にするように設計されています。包括的なレポート機能により、ユーザーは簡単にウェーハとテストデータを要約して迅速な分析を行うことができます。THERMA-WAVE 2600は、より正確な測定と検査を容易にするために、効果的なAutoprimeおよびAutoAux機能を備えています。高度なプロセス制御機能を備えたこのツールは、さまざまなプロセス手順を厳密に監視し、深刻な損傷を引き起こす前に資産異常を検出できます。全体として、2600モデルの高度な設計と性能により、半導体製造分野の幅広い用途に最適です。その強力なプラットフォームと使いやすいソフトウェアライブラリを組み合わせることで、オペレータは信頼性の高い精度と再現性で高い信頼性の高い結果を生み出すことができます。