中古 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9358232 を販売中

KLA/TENCOR 6400サーフスキャンは、集積回路表面の品質を評価し、さまざまな自動テストを実行するために使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、幅広い材料、フォーマット、およびデバイスの種類との最大限の互換性を提供するように設計されています。KLAの6400サーフスキャンユニットは「、アクティブスキャン」「、スタンバイ監視」「、レーザーサイレント」の3つの主要な動作モードを提供します。アクティブスキャンモードは表面欠陥の詳細情報を提供するために使用され「、スタンバイモニタリング」は継続的なバックグラウンドテストに使用され、すべてのウェーハコンテンツとデバイスサイズで最適な検査スループットを提供します。レーザーサイレントモードは、連続的なレーザービームを維持する必要なく、長いテスト期間に使用されます。このマシンは、欠陥位置とレビュー、表面地形、高度なパターン解析におけるさまざまな計測機能を備えています。ソフトウェアツールの一連の「パターンフィルタ」は、このツールの大解像度スキャンを利用するように設計されており、高い欠陥検出感度と欠陥数を精製する能力をもたらします。TENCOR 6400 Surfscanは、さまざまな画像処理アルゴリズムも備えています。これらのアルゴリズムは、高精度なトポグラフィ測定と画像解析を兼ね備えており、表面特性を評価する強力なツールとなっています。この資産はまた、ユーザーが個々の欠陥とその位置の測定を全体的な「傾向」分析の一環として表示できる高度な追跡機能を提供します。自動校正ルーチンがモデル内に組み込まれており、高速で信頼性が高く、再現性の高い測定が可能です。6400サーフスキャンは、機械的に高度なレーザー衝撃保護（LSP）システムと精密安定化された顕微鏡ステージを備えた非常に信頼性の高い機器です。このユニットは、2インチラウンドから12。5インチスクエアまでの幅広い基板に容易に対応でき、ナノスケールレベルからミクロンレベルまで幅広いダイナミックレンジの測定が可能です。全体的に、KLA/TENCOR 6400 Surfscanは、最大限の互換性と精度のために設計された汎用性と強力なウェハテストおよび計測機です。これは、精密安定化されたステージだけでなく、精度と信頼性のための高度なLSPツールだけでなく、さまざまなイメージングと測定機能を提供しています。