中古 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9180164 を販売中

KLA/TENCOR 6400 Surfscanは、半導体産業におけるウェーハプロセスの測定、認定、デバッグを目的とした高度なウェーハテストおよび計測システムです。これは、水平および垂直の両方のアプリケーション、および前面と背面の両方のイメージングのための多機能ツールです。標準バージョンのSurfscan 6400には、生産ウェハの歩留まりを向上させ、品質を向上させるために設計されたさまざまな計測機能が搭載されています。表面形状や特徴形状を測定するための光学散乱計、薄膜の厚さや経時変化を測定するための3次元光干渉計などがあります。さらに、光学散乱計は、垂直スキャナと高解像度カメラを備えており、さまざまな表面欠陥を識別して特徴付けることができます。Surfscan 6400は、分析時間の短縮と生産性の向上に役立つ、さまざまな自動レポート機能も提供しています。これらのレポートは、ウェーハと特定の基準を比較し、生産ロットの包括的な「ヘルスマップ」を提供するために使用できます。高度な自動レビューソフトウェアは、散乱計測および干渉計検査データのレビュープロセスを高速化するためにも使用でき、セットアップ時間と混乱を劇的に減らすことができます。Surfscan 6400は、ウェーハ計測のパフォーマンスを拡張するいくつかの新しい機能を備えています。これらには、表面の地形と入射角度のばらつきを同時に測定するデュアルライト散乱計が含まれます。障壁の層および他のエッチプロセスパラメータを測定するのに使用されるぬれたエッチプロファイリング；透明な誘電体の層の厚さを測定できるプリズムプロファイリング；より小さなフットプリントからより高いスループットを提供するスマートモジュール設計。Surfscan 6400はまた、バンプ検査、ステップ高さ検査、プロファイルスキャンなど、複数の基板フォーマットに対応するためにツールのセットアップをカスタマイズする機能を提供します。また、優れたスキャン速度と低いセットアップ時間を誇り、ユーザーはほんの数分の1の時間でプロセスの問題を正確かつ効率的に特定することができます。全体として、KLA 6400 Surfscanは、幅広いアプリケーションに高速で信頼性の高いデータと高度なカスタマイズ機能を提供する優れたウェハテストおよび計測システムです。これにより、プロセスの問題を迅速かつ正確に診断し、ウェーハのパフォーマンスを向上させ、ダウンタイムを短縮できます。