中古 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9155219 を販売中

KLA/TENCOR 6400サーフスキャンは、ウェーハの表面を測定するための高精度ツールです。特許取得済みのInterferometric Non-Contact Profilometer （INC）を使用して、ウェーハ上の地形情報や寸法情報などの表面特性を測定します。INCは、ナノメートル欠陥を迅速かつ正確に測定するための最先端の技術です。KLA 6400 Surfscanは大量生産ラインで動作するように設計されています。高速デュアルゾーンスキャン装置を使用して、スループットを向上させ、再テスト時間を短縮します。デュアルゾーンシステムには、ウェーハの初期欠陥を検出するように設計された7µm検出器と、より正確な表面特性を測定するように設計された1µm検出器があります。300mm/minでウェーハをスキャンすることができ、データは1 mmあたり200データポイントで取得できます。TENCOR 6400 Surfscanは、複数の計測ツールも備えています。高速粒子計測ユニット、低コントラスト粒子計測機、地形計測ツール、3D表面計測アセット、粗さ計測モデルなどがあります。これらのシステムはすべて、石英、アルミニウム、プラスチックウェーハなど、さまざまな種類のウェーハを測定することができます。6400 Surfscanには他にも多くの機能があります。自動化されたキャリブレーションおよびアライメント装置を使用して設計されており、上下サーフェスの完全なアライメントを保証します。また、KLA/TENCOR 6400 Surfscanによって収集されたデータのデータ分析と制御を可能にするER-2000高度な処理システムを備えています。KLA 6400 Surfscanには、ウェーハテストと計測を簡単かつ迅速に行う機能が満載されています。ウェーハテストと計測のための正確で効率的なツールを必要とする半導体企業にとって理想的なツールです。精度と機能を備えたTENCOR 6400 Surfscanは、表面の特徴を簡単かつ正確に測定するために使用できる信頼性の高いツールです。