中古 IMS / NANOTECH 13666-LIME BUSTER XL #9294969 を販売中

IMS/NANOTECH 13666-LIME BUSTER XLは、電気パラメータ、プロセスリソグラフィ、試験および計測を測定するために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。幅広い部品製造プロセスにわたるレベル1のアプリケーションに最適です。IMS 13666-LIME BUSTER XLシステムは、画像解析およびプロセス制御に使用するために、プログラム可能な電気デジタル信号プロセッサ（DSP）を使用してスキャンされたサンプルを受け入れて処理します。これには、最大12メガピクセルの画像取得を可能にする高精細デジタルデータ取得ユニットが含まれています。この高解像度は、実験データからグラフの最適化を可能にします。また、ArFレーザパターニングを備えた2D/3D光学モジュールを搭載しており、電気試験データ、厚さ測定、臨界寸法（CD）測定精度、反射率、ゲートプロファイリング、マスクアライメント精度など、高解像度で正確なプロファイル測定を行うことができます。NANOTECH 13666-LIME BUSTER XLには、ウェーハスキャナとウェーハハンドラも含まれており、ツール全体でウェーハを処理および輸送するための標準的なオートメーションインタフェースを提供するように設計されています。このアセットは、幅広い製造プロセスシステムに接続することができ、テストと計測の完全な統合を可能にします。13666-LIME BUSTER XLには、幅広いウェーハ試験アプリケーションを可能にする高度な電気試験の広範なライブラリをプログラムする機能もあります。さらに、ドライバ/パワーソリューション、大電流および低電流キャリアテスト、自動ライブラリコンポーネント、および完全な一連の動作機能を提供します。このモデルは高度にユーザー設定が可能で、幅広いアプリケーションに対応できます。IMS/NANOTECH 13666-LIME BUSTER XLはまた、高速で正確な測定と分析を可能にする高度で高性能な測定エンジンを提供しています。この装置は、高精度、高速スループット、かつこれまでにない使いやすさを兼ね備えており、生産フローの総制御を実現しています。IMS 13666-LIME BUSTER XLは、レベル1の生産環境における電気パラメータ、プロセスリソグラフィー、試験および計測の信頼性、正確性、高解像度測定を提供するように設計されています。部品、基板、プロセス測定、リソグラフィ、計測などの信頼性、正確性、高解像度の試験を必要とする組織にとって理想的なソリューションです。