中古品 IMS / NANOTECH (ウェハ検査・計測) を販売中

IMS/NANOTECHは、さまざまな利点を持つさまざまなアナログを提供するウェーハテストおよび計測機器の大手メーカーです。その特筆すべきシステムの1つがLVIS-3+です。これは、ウェハの厚さ、表面形状、弓とワープの特性を非接触で正確に測定するために設計された最先端のレーザースキャニングシステムです。このシステムは高分解能の測定を提供し、インラインのプロセス制御および品質保証にとって理想的です。IMS/NANOTECHが提供するもう1つのシステムは、接触および非接触測定技術を組み合わせた多目的で堅牢な計測システムであるLVIS-Vです。このシステムは、厚さだけでなく、応力、TTV、表面粗さ、およびその他の重要なウェーハ特性を測定することができます。その柔軟性は、複数のアプリケーションの使用を可能にし、信頼性の高い正確な測定を提供します。さらに、IMS/NANOTECHは、ウェーハ表面からの汚染や粒子の除去を目的とした独自のウェーハクリーニングシステムである13666-LIME BUSTER XLを提供しています。このシステムは、化学プロセスと機械プロセスを組み合わせて高い清浄度を達成し、その後の製造プロセスで最適なウェーハ性能を確保します。全体として、IMS/NANOTECHのウェーハテストおよび計測ユニットは、高度な測定機能、汎用性、および信頼性を提供します。これらの機械は、ウェーハ特性を正確に制御し、高品質で効率的な半導体製造プロセスを保証します。

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