中古 HERMES MICROVISION / HMI Epointer2-VC #293666859 を販売中

HERMES MICROVISION / HMI Epointer2-VC
ID: 293666859
Metrology system.
HERMES MICROVISION/HMI Epointer2-VCは、マイクロメーター範囲の特徴を測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ナノメートル分解能を達成するためにビジョンベースの計測技術を利用しています。このユニットは、イメージングヘッド、ビジュアルコントローラ、コントロールユニット、検査ソフトウェアで構成されています。このイメージングヘッドには、高解像度の画像を取得するために、モーター付きの対物レンズとイメージングオプティクスが組み込まれています。この目的は、0。3までの可変数値開口(NA)と50mm x 50mmまでの視野を提供します。イメージングオプティクスには、光学を制御するLED照明、カメラ、インターフェイスボードが組み込まれています。照明器は画像取得のための一定の明るさを提供し、カメラは1MPで画像をキャプチャすることができます。制御ユニットは、測定およびテスト作業を実行するために必要なハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントを統合します。PC対応マイクロプロセッサ、ソリッドステートストレージ、ユーザーインターフェイス、およびビジョンコントローラへの接続を備えています。検査ソフトウェアは、イメージングヘッドとコントロールユニットとの相乗効果で画像処理や測定作業を行います。このソフトウェアは、エッジや輪郭位置などの特徴を検出し、表面の不規則性に対するガイド認識、および粒子サイズの測定を行うことができます。最後に、ビジュアルコントローラは、特定の試験場所のイメージングヘッドの動きをガイドし、すべての測定値をテストレポートに結合します。要約すると、HMI Epointer2-VCは、ナノメートル分解能を実現するためにビジョンベースの技術を利用した包括的な計測機であり、ウェハ上の特徴を1マイクロメートル程度で正確に測定することができます。
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