中古 FRT MPR 200 #293607164 を販売中

FRT MPR 200は、高度で効率的なウェーハ試験および計測システムです。それは優秀な正確さおよび信頼性を完全な表面および欠陥の測定に与えることができます。このシステムには、感度を高め、試験および測定性能の速度を最大化する独自のデュアルエミッション検出器が装備されています。MPR 200には、半導体ウェーハ上の薄膜構造や特徴を分析、検査、テストするために使用される強力なソフトウェアプロセスのスイートが装備されています。その自動検査アルゴリズムは、歩留まり制限欠陥を特定し、ドーパントプロファイルデータと厚膜を測定するための最大の感度を提供することができます。自己校正および自動補正プロセスにより、データ処理時間がさらに短縮されます。FRT MPR 200は、自動プローブキャリッジを利用した非接触検出方法と、必要に応じてサンプルを配置およびスキャンするサンプルモーションステージを使用しています。MPR 200は、ランダム、繰り返し、およびライン・ツー・ラインの欠陥を見つけることができます。サブミクロン欠陥や最小線幅偏差の検出においても、低騒音・高精度を実現しています。FRT MPR 200はまた金属、多ケイ素および酸化物のフィルムの厚さ、ドーパントの集中および重大な次元の測定の精密で、繰り返し可能な正確さを提供します。MPR 200は、精密な測定と多重欠陥検査機能により、プロセス制御と製品品質の向上を容易にします。また、分析、トラブルシューティング、デバッグプロセスに役立つ例外的なデータも提供します。全体として、FRT MPR 200は信頼性が高く強力なウェハテストおよび計測システムであり、比類のない精度と速度を提供します。その高度な機能と強力な検出機能により、複数の欠陥や材料の検出と特性評価、膜厚、ドーパント濃度、臨界寸法およびその他の特性の正確な測定が可能です。自己校正および自動補正プロセスの統合により、データ処理時間を最小限に抑え、非接触検出方法により、優れた精度と信頼性を提供します。