中古 FRT MicroProf TTV200 #293657324 を販売中
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ID: 293657324
ヴィンテージ: 2011
Flatness measuring system
Wafer testing and metrology
(2) Chromatic sensors FRT CWL 600 pm
XY Stage: 250 x 200 mm²
Sensor coarse approach
Motorized linear axis
Video view
Granite base plate
Computer and electronics unit
Operating manual
2011 vintage.
FRT MicroProf TTV200は、FRT GmbHがインラインおよびエンジニアリング目的で開発したウェーハ試験および計測機器です。フルテストカバレッジのための4〜6軸ウェーハステージを備えたこのシステムは、光学、地形、電気的および統計的プロセス制御を自動化します。様々なサンプルタイプに対応し、片面試験ヘッドによりウェーハの前面と裏面を同時に測定することができます。機械の計測コアには、Fizeau Interferenceを使用した線形スキャン干渉計(LSI)と三軸ビジョンセンサーが搭載されており、マイクロメーター範囲での検査が可能です。重く構造化されたウェーハであっても、その構成のおかげでこのツールを使用して測定することができます。さらに、このアセットの電気試験機能は、UHT (Ultra High Throughput)を備えた4x4mmプローブカードによって補完され、比類のない試験精度を提供します。MicroProf TTV200は、画像処理ユニットとオープンアプリケーションプログラミングインターフェイス(API)で優れたパフォーマンスを提供します。このモデルのオープンAPIは、カスタムアプリケーションのための強力なツールであり、機器のさらなる開発のための高い可能性を提供します。10ギガビットイーサネットイメージストリーミングインターフェイスとGigalink Fluxストリーミングインターフェイスにより、最大限の画像キャプチャ速度を実現し、迅速なテストとクリーンなデータ転送を実現します。このシステムは、カスタマイズされたアプリケーションのニーズに合わせて最適化されたウェーハマッピングも提供します。この機能は、電動ウェーハステージとRPC (Rotational Path Correction)アルゴリズムを利用しています。このユニットは80〜200 μ mラインの測定が可能で、高解像度の画像キャプチャ機能により、継ぎ目などの目に見える機能を測定するのに最適です。最後に、FRT MicroProf TTV200は、他の多くの機能を備えた包括的なパッケージです。このマシンは、レーン間の比較と統計、およびプロセスの最適化と開発をサポートします。シンプルで直感的なユーザーインターフェイスにより、このツールはセットアップと使用が簡単で、ウェーハテストと計測において最大限の生産性を確保します。
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