中古 FEI DA300 #9266820 を販売中

FEI DA300は、高度な技術ノード処理と歩留まり管理の要求を満たすように設計された画期的なウェーハ試験および計測機器です。FEI Companyによって開発されたDA300は、1つのシステムに複数の計測ソリューションを組み合わせた統一された計測プラットフォームです。これにより、個々のウェーハソリューションから大量生産のウェーハプロービングまで、最大限の柔軟性を備えています。FEI DA300ユニットは、入力、着信および出力ウェーハおよびデバイスの性能を検査および検証するための高いスループットと妥協のない精度を提供します。その高度な計測機能は、FEIの高度な光学検査とさまざまな特性評価ソリューションを組み合わせたものです。この光学検査は、表面、電気、プロセス関連の測定のサブミクロン分解能の画像を提供しますが、さまざまな特性評価ソリューションは、抵抗と容量、漏れ電流、絶縁定数の完全な特性評価を提供します。機械はまた高速、単一ダイプロービングが可能です。DA300プラットフォームの最先端の機械設計は、サイクルタイムを短縮し、スループットを向上させるために最適化されています。革新的なAutoFocusテクノロジーは、差動光学を使用してプローブヘッドの高速かつ一貫した焦点を容易にし、総設置時間を大幅に短縮します。高速で簡単なハードウェアとソフトウェア制御を可能にするために、FEI DA300には自動ロボットアームが装備されています。このロボットアームはコンピュータ制御され、速く、適用範囲が広い動き、またウェーハの把握および調査力の制御を提供します。このツールは、SEM/FIB、 Raman、 High-Resolution Critical Dimensions Measurement （HR-CDM）などのオプションのアドオンモジュールを使用してさらにカスタマイズできます。FEIソフトウェアスイートとの完全な統合により、DA300は完全な計測ニーズに最適なソリューションです。FEI DA300は、柔軟性や寿命を損なうことなく、優れた性能と精度を提供します。柔軟な構成により、設計の自由度を最大限に高め、変化する製品要件に容易に適応できます。このプラットフォームの堅牢な設計と革新的な機能により、アセットはあらゆるウエハアプリケーションを処理し、信頼性と再現性の高い結果を保証します。