中古 FEI DA300 #9257394 を販売中
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FEI DA300は、統合技術を活用して効率、精度、生産性を向上させ、コストとサイクルタイムを削減する高性能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度なセンサ、アナライザ、検査システムの範囲を使用して、最大300mmウェーハをテストするように設計されています。精密オプティクスにより、DA300は幅広いウェーハおよびデバイスの種類にわたって正確かつ再現性のある結果を提供します。FEI DA300は、統合された光検査ユニットを使用して、マイクロパイプ、異常、粒子、プロセス異常など、ウェーハ表面のさまざまな異常を検出します。また、材料組成、層構成、膜厚を識別することができます。さらに、潜在的な欠陥や隠れたプロセス欠陥を検出することができます。高解像度イメージング機能により、さまざまなタイプのウェーハ特性と欠陥DA300区別することができます。光学検査に加えて、FEI DA300には、ウェーハ試験および計測の目的のための他の多くのツールがあります。非接触抵抗率と静電容量測定により、電気およびRFデバイスの正確なパラメータが得られます。広角散乱マッピングマシンは、コーティングの形成とパターン特性だけでなく、マイクロエレクトロニクス構造のナノスケールの重要な寸法とプロファイルを測定します。光学および電気分析装置は、デバイスの特徴を詳細に分析することができ、従来の顕微鏡技術を使用して検出することが困難であった欠陥を検出することができます。DA300は、ユーザーに機能と機能の包括的なセットを提供するように設計されています。自動テストルーチンにより、検査に要する時間と労力を削減し、効率的で費用対効果の高いウェーハテストと計測に最適なツールです。さらに、幅広いインターフェイスとオートメーション要件に対応しているため、さまざまなデータフォーマットと互換性があります。データ豊富なレポートと画面上の診断機能をユーザーに提供するだけでなく、プロセスの詳細な分析と最適化を可能にします。FEI DA300ウェーハテストおよび計測ツールは、ウェーハテストのための高度で高速で信頼性の高いソリューションです。一連のセンサ、アナライザ、検査技術を組み合わせ、効率的かつ正確なウェーハテストを可能にする多目的で機能豊富な資産です。さまざまなデバイスで詳細なデータを提供できるため、さまざまなデバイスの種類にわたるさまざまなアプリケーションに最適なツールです。
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