中古 ULTRATECH XLS #9191710 を販売中

ULTRATECH XLSは、ウェーハを加工するためのステッパーです。特に、精密なデバイスや太陽電池アセンブリの製造に適しています。位置精度が最大0。3 μ m、ベーススキャンセンサー精度が0。25 μ mの制御軸を備えています。高速処理と費用対効果により、高精度ウェーハの製造には費用対効果の高い選択肢です。XLSには専用のウェーハアライメントメカニズムがあり、最後にロードされたウェーハの位置を記憶して思い出すことができ、セットアップの時間を節約し、同じウェーハセットを使用するときの再アライメントの必要性を減らすことができます。0。02ミクロンの解像度を持つCCDエッジ検出装置により、各ウェーハの位置が正しく設定されます。花こう岩のプラットホームの設計はよい安定性および振動減衰の特徴を提供し、熱ドリフトを最小にします。製品輸送のために、ステッパーにはクラスタモジュールがあり、同時に最大6つのトレイを輸送できます。安全性と高精度を高めるために、ウェーハは真空システムで安全に保持され、機械のさまざまなセクションに渡されます。ULTRATECH XLSは、ウェーハを加工するための信頼性が高く、効率的で費用対効果の高い選択肢であり、さまざまなサイズと形状の幅広いウェーハに適しています。Aerial Image Samplingを含む複数の露光技術を提供しています。ウェーハのサイズに応じて、スキャンフィールドのサイズを選択できます。さらに、XLSはウェーハの残留のないエッジを保証する自動バックサイド洗浄ユニットを備えています。ULTRATECH XLSは、要求の厳しい生産環境向けに設計されており、高精度の製造プロセスを提供します。使いやすいプロセスコントローラにより、プラットフォームの急速な変更を確実に行い、さらなる効率化を実現します。ステッパーはまた、統合されたスキャナ検出機と幅広いウエハカセットを提供しています。XLSには、露出線量、マスクの厚さ、露出時間など、要件に応じてデバイスをカスタマイズするために使用できるいくつかのプロセスパラメータがあります。そのモジュール設計および優秀な光学は正確で、速い結果を保障します。また、湿気保護ツールとインテリジェントなパワーモニタリングを備えているため、安全な選択肢です。要約すると、ULTRATECH XLSは、さまざまなウェーハ処理および製造アプリケーションに最適です。高速で正確かつ費用対効果の高い結果を提供し、自動化された機能により、高品質で安全な生産プロセスを実現します。