中古 ULTRATECH XLS 200 #9382961 を販売中

ULTRATECH XLS 200ウェーハステッパーは、サブミクロン半導体ウェハの製造用に特別に設計された高度なリソグラフィ装置です。最先端の画像・露光技術を誇り、最高レベルの精度とコストコントロールを実現しています。ULTRATECH XLS200は、最大1ナノメートルの精度を提供するデュアルステッピングモータドライブユニットを備えた引き込み式の統合光学プラットフォームを利用しています。プラットフォームには、フルフィールドスキャンステージ、統合パターンジェネレータ、自動露出機が備わっています。集積パターンジェネレータは10nmの繰り返し精度を持ち、0。5 μ mの高精度な解像度を実現します。XLS 200には、高度な露出ツールが搭載されており、最大200mmウェーハを6秒/スキャン速度でスキャンできる統合スキャンステージが備わっています。露出アセットには、最適化されたランタイム電力補償、モノリシックアライメント、および線量シェーピングなど、複数のアルゴリズムがあり、ユーザーはスループットを最大化し、消費電力を最小限に抑えることができます。XLS200はさらに、完全に自動化されたウェーハトラック管理モデルを備えています。この機能により、入力の読み込みを高速化し、手動での調整を少なくすることで、最高のスループットと精度を確保できます。また、ウェーハトラック管理装置は、ユーザーがエラーを追跡し、エラーを追跡し、作業を迅速かつ効率的に完了するために操作を最適化することができる包括的なシステム履歴を提供します。ULTRATECH XLS 200はULTRATECHの最も強力で高度なリソグラフィーユニットであり、半導体業界が要求する最高レベルの精度とコスト管理を満たすように設計されています。ULTRATECH XLS200は、統合された光学プラットフォーム、高解像度機能、自動露出およびウェーハトラック管理システムにより、重要な製造および開発サイクルに最適なマシンです。