中古 ULTRATECH Unity AP300 #9247822 を販売中

ULTRATECH UnityTM AP300は、マイクロエレクトロニクスデバイスの高精度リソグラフィ露光用の汎用性の高い高精度ウェハステッパーです。サブミクロン装置のハイスループット生産用に設計されており、ダイサイズ全体にサブミクロン登録機能を備えています。ワークマネジメント、絞り設計、マルチレイヤーパターニング、オーバーレイアライメントなど、次世代の加工技術を備えています。75 umの数値開口部を持つUV照明源を使用しています。ステップアンドリピートとフルフィールドパターン投影エクスポージャの両方をサポートしています。特許取得済みの傾斜可能なレチクルホルダーを備えており、露出プログラミング、パターン露出、アライメントを簡素化します。さらに、革新的でユーザーフレンドリーな真空装置を備えており、汚染を最小限に抑え、プラットフォームに組み込まれています。このシステムは、基板を移動するための精密サーボ制御ステージと、正確な位置フィードバックのための高解像度エンコーダを備えています。独立したデュアル非接触プローブユニットを備えており、高いオーバーレイアライメント精度を実現しています。ホルダー設計により、高密度ダイの迅速かつ容易なローディング、操作、アライメント、露出を可能にします。また、レチクルへの容易なアクセスを可能にし、セルフモニタリング輸送機を備えています。また、効率的な生産とプロセスの整合性を確保するためのネットワーク監視ツールも備えています。このコントローラには、PC互換PCと専用のULTRATECHTM Progmatic 2。0コントローラの両方が含まれています。PC-Compatible PCは、フルスイートのPCアプリケーションを備えたハイエンドのマルチプロセッサ資産です。このモデルには、ダイ設計、レチクル設定、ニューラルネットワーク駆動プロセス最適化を可能にするユーザーフレンドリーなインターフェイスが含まれています。Progmatic 2。0 Controllerは、ステッピングオートメーションと機械機能を管理する真のオープンアーキテクチャ、マルチタスクロボットコントローラです。大容量のリソグラフィ製造に必要なハイエンドの性能と信頼性を満たす幅広い洗練された機能を提供します。ULTRATECH UnityTM AP300は、最高品質のリソグラフィ要件を満たすように設計されており、0。3um （3。0 σ）の露光精度を実現しています。また、20nm以上の高速露光を実現し、高度かつ超小型デバイスのハイスループット生産を可能にします。低電力、高性能の集積回路のための最も厳しいリソグラフィ要件を満たしています。全体として、高精度で超高信頼性のリソグラフィ露光と高度なマイクロエレクトロニクスの製造に費用対効果の高いソリューションを提供します。