中古 ULTRATECH Unity AP300 #9128099 を販売中

ULTRATECH Unity AP300ウェーハステッパーは、半導体ウェーハの製造に使用される最先端の精密リソグラフィ装置です。ステッパーは、高度な光学系とマルチドース機能を備えており、最大3つのウェーハを同時にイメージングすることができます。このシステムは、露出されたウェーハ表面と露出されていないウェーハ表面の両方の高品質のイメージングを提供するように設計されています。AP300にはOpti-Scan Roboticsユニットが装備されており、機械内のウェーハの正確で反復可能なアライメントと動きを提供します。また、2台のカメラを切り替えることができ、上面と下面の両方のイメージングを行うことができます。ウェーハステッパーは、高精度の多軸ステージによって駆動され、環境からのウェーハのエアサスペンションと分離、最適なモーションコントロールを提供します。また、リソグラフィ中のウェーハの正確な動きと位置を保証する、正確で繰り返し可能な速度制御を備えたハイエンドモーターを備えています。AP300ウェーハステッパーは、独自のDose ControlとExposure Assetを使用しています。これは、線量配信とパターン書き込み速度において比類のない安定性と精度を提供します。また、校正された均一性マスクを使用した高度な光学補正を提供し、画質の向上とより正確なリソグラフィを可能にします。このAP300はまた、高度なマルチレイヤプロセス（MLP）装置を使用して、ステップとリピートプロセス中のウェーハの進捗状況を監視します。これは、ミスアライメントを最小限に抑え、ウェーハ全体の各ダイに正しい量の用量が適用されることを確認するのに役立ちます。最後に、AP300は常に安全な動作を保証するように設計された堅牢な安全機能で構築されています。ステッパーにはキャビネットエンクロージャが付属しており、システムが外部の振動、ほこり、およびEMFから保護されていることを保証します。安全機能には、ユーザーを害から保護するための緊急停止ボタンも含まれています。