中古 ULTRATECH Unity AP300 #293816715 を販売中

ULTRATECH Unity AP300は、半導体生産プロセスを駆動するように設計されたリソグラフィーウェハステッパーです。これは、強力なパターニング機能とスループットの向上を提供する、リソグラフィ機器のAPシリーズのファミリーに追加として開発されました。この堅牢なウェーハステッパーは、高速で正確で再現性のあるパターンを提供し、歩留まりの向上とコストの削減を可能にします。このウェーハステッパーは、ウェーハの高速かつ均一な露出を確保するために、5軸ステージおよび静止フィールド投影光学系を使用しています。この装置は、ウエハーのフォーカスとスキャン時の歪みを補正し、正確な露出とアライメントを実現する専用の反転歪みイメージングシステムを備えています。ウェーハステッパーは、Xactの解像度技術を利用して、ターゲットコーナーに最適なフォーカスと解像度を提供し、あらゆる基板上でパターンを確実にイメージすることができます。ULTRATECH UNITY AP 300の設計はまた、ステッパー性能を最適化し、ウェーハのロードとアンロードによるダウンタイムを最小限に抑え、全体的なスループットを最適化することで高い生産性を実現します。高度な機能を備えたこのウェーハステッパーは、幅広いフィールドサイズにわたってライン幅/スペース（LWS）比の最も厳しい範囲でウェーハを供給することができます。ウェーハステッパーは、6インチ正方形の基板サイズを採用し、幅広いウェーハに対応しています。ユニティAP300には、敏感基板の熱関連の歪みを防止する均一な温度制御を提供するグラファイト炉が装備されています。さらに、インテリジェントなサブフィールディング機能が付属しており、より良い露出のために大きなフィールドをより小さなサブフィールドに細分化します。ウェーハステッパーは、セットアップと操作を簡素化する直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと、ユーザーに現在のジョブの進捗状況を常に知らせるためのステータスレポートウィンドウを備えています。UNITY AP 300は、信頼性と信頼性の高いパターニングを提供するように設計されており、幅広いアプリケーションに最適な柔軟性、パフォーマンス、生産性を提供します。最先端のイメージング技術、直感的なインターフェイス、高度な機能を備えたAP300は、合理化されたウェーハ製造プロセスのための最先端の技術を提供します。