中古 ULTRATECH Unity AP200 #9306126 を販売中

ULTRATECH Unity AP200は、最先端のリソグラフィ操作用に設計されたウェーハステッパー技術プラットフォームです。このAP200は、優れたイメージング精度、柔軟なウエハー機能、高度なプロセス制御技術を提供する、高速のステップアンドリピート30-GHz処理装置です。高度な光学システムは、調整可能なテレセントリックレンズを使用しており、ウェーハの歪みを最小限に抑え、強力な画像領域を確保します。このユニットは、最大3秒/ウェハステップのプロセス速度で50 um以上のピッチを処理できます。AP200の自動化された動作は完全にスケーラブルで、異なるウエハサイズ、デバイス、基板材料に対応する場合に最大限の柔軟性を提供します。機械に5インチおよび8インチのウェーハの両方に収容するためにカスタマイズすることができる大きい作業エリアがあります。様々なフィールド平坦化・マルチモード実行機能を完備し、画像最適化を自動化しています。また、光学アライメント、フィジカルアライメント、イメージング性能監視など、包括的なプロセス制御機能も備えています。このAP200は、欠陥信号をキャプチャし、構成可能な露出パラメータを使用して特殊なパターンを生成することができます。また、プロセス履歴を分析するための広範なログ追跡とツールも提供します。AP200は最高水準の性能を満たすように設計されています。驚異的なイメージング精度、優れたプロセス信頼性、および複数の冗長機能を提供します。自動化されたアライメント・アセットにより、一貫した処理パラメータを容易に維持し、ミスアラインメントを防止できます。さらに、その巨大な視野は、そのイメージング能力を大幅に向上させ、明確に定義されたイメージング分野を促進します。Unity AP200は、極端な解像度の微小回路から大規模な統合システムまで、あらゆるリソグラフィのニーズに最適なソリューションです。それは比類のない速度と精度を提供し、その高度なプロセス制御技術は、優れた品質の結果を達成することを容易にします。このモデルは、最大スループット、堅牢性、使いやすさを考慮して設計されており、ほぼすべてのウエハサイズに対応できます。あなたが極端な精度や生産量の増加を探しているかどうか、AP200は完璧な選択です。