中古 ULTRATECH Unity AP200 #9280624 を販売中

ULTRATECH Unity AP200 Wafer Stepperは、半導体製造用に設計された高度なステップアンドリピートリソグラフィ装置です。ワンショットで最大200mmウェーハ上にパターン化された画像を露出することができます。Unity AP200のリソグラフィ光学系は、より詳細な画像のためにNA=0。6の高い数値開口（NA）を提供します。このシステムには、30mm x 40mmの視野を提供する3.3Megaピクセルデジタルイメージングカメラが装備されています。カメラは低騒音イメージングセンサーを使用して、14ビットの深度解像度のダイナミックイメージレンジを提供します。これにより、ウェーハ上の画像をより正確に再現できます。ULTRATECH Unity AP200の電気機械部品は、高精度と信頼性で設計されています。ウェーハの正確なアライメントと位置決めのための6軸モーションマシン、最大5秒間の回転登録精度のための高精度な回転ステージ、最大2500 mm/sの高い線形速度。Unity AP200のアルゴリズムにより、複雑なパターンを高精度に露出させることができます。これらには、非線形スキャンパターンのしきい値サポートパターンとバックエンドパターニングが含まれ、パターンの種類や最小プログラムサイズが変化します。ULTRATECH Unity AP200には、自動焦点制御用の外部レーザー干渉計、光学保護用の統合パーティクルモニタ、および資産の性能に対する熱影響を低減する冷却ツールも含まれています。さらに、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）、オープンアーキテクチャ、ソフトウェア開発キット（SDK）を備え、操作性を向上させるように設計されています。これらの機能により、ユーザーはさまざまなアプリケーションの画像を簡単にプログラムおよび処理できるようになります。全体的に、Unity AP200 Wafer Stepperは、200mmウェーハ上のパターンの正確で正確なイメージングを提供する高度で信頼性の高いリソグラフィ装置です。ユーザーフレンドリーなインターフェース、高精度の機械部品、堅牢なアルゴリズムにより、半導体アプリケーション向けの高品質な画像を生成できます。