中古 ULTRATECH Ultrastep 990 #9237976 を販売中

ULTRATECH Ultrastep 990は、サブミクロンのリソグラフィ用に設計された高度で高精度なウェーハステッパーで、優れた臨界寸法（CD）制御と再現性を提供します。この装置は、高度なハードウェアとソフトウェアを使用して、優れた精度を維持しながら高スループットを実現します。Ultrastep 990の中心には、高度な光学イメージングサブシステムがあります。光学システムは、露光ごとに高解像度の画像取得と正確なウェーハ登録の両方を提供します。高精度リニアエンコーダとアンギュラーエンコーダにより、0。5 μ m （1 μ mフィーチャサイズの10分の1）の正確なアライメント精度を実現します。このユニットは、簡単かつ効率的な操作のために設計された直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を搭載しています。GUIにより、ジョブの実行だけでなく、速度や精度などの機械パラメータを完全に制御できます。さらに、包括的なレポート機能を提供し、ウェーハスループットの監視、エラーの検出と修正、最適なプロセス制御を実現します。ULTRATECH Ultrastep 990は、独自の超高速光源を使用し、オーバーヘッドを最小限に抑えた高速ウェーハ処理を実現します。広絞りとデュアルレーザーセンサーにより、高密度パターンでも優れた検出機能を提供します。さらに、その高度なスキャンプロセッサとウェーハステージは、露出したウェーハ表面に迅速かつ正確なパターンを提供します。Ultrastep 990は、最も要求の厳しい環境でも、信頼性が高く効率的な動作を実現するように設計されています。その堅牢な真空チャッキングツールは、ウェーハの安定した積み下ろしと剛性フレーム構造と密封された光学キャビネットにより、空中汚染を最小限に抑えます。さらに、その高度な振動分離アセットは、環境ノイズからの障害を防止します。ULTRATECH Ultrastep 990は、最適なリソグラフィ処理スループットに最適な選択肢です。その堅牢なハードウェアとソフトウェアアーキテクチャは、優れたイメージングと登録機能を兼ね備えており、精密サブミクロンのリソグラフィに最適なモデルとなっています。卓越した性能と信頼性を備えたUltrastep 990は、最も要求の厳しいリソグラフィのニーズを確実に満たします。