中古 ULTRATECH UltraStep 1500 #9296388 を販売中

ULTRATECH UltraStep 1500は、幅広い半導体製造プロセスにおいて正確かつ正確な位置アライメントを提供するように設計された高性能ウエハステッパーです。このステッパーは、独立した軸アライメント機能を備えた高度な光学システムを備えており、ターゲットとなるウェーハ材料に高解像度で正確な位置決めを提供します。このステッパーは、安定性と低熱ドリフトを提供するように設計されており、精密な2次元ウェーハアライメント精度は最大0。5 µmです。また、リソグラフィ、ウェーハ検査から基板加工まで、さまざまなアプリケーションのニーズに対応しています。UltraStep 1500には、自動ウェハ識別とステージアドレッシングシステムが組み込まれています。これにより、各ウェハはプロセスの各ステップの前に正確に配置されます。ステッパーはアルミ合金と組み立てられ、軽量のまま最大の強度と耐久性を提供するために陽極酸化されています。耐久性に優れたステンレス仕上げで、腐食や摩耗を防ぎます。ULTRATECH UltraStep 1500には、緊急停止ボタン、安全ワークゾーンエンクロージャ、レーザー保護装置、areolaパネルなどの内蔵安全機能を備えた包括的な安全システムも組み込まれています。これにより、ユーザーは操作中にステッパーとの相互作用から安全であることが保証されます。UltraStep 1500は、高いトルク、高精度、高速性能を提供する汎用性の高いサーボモータを搭載しています。このモータは、半導体製造の生産ニーズの広い範囲を満たすように設計されています。また、金、銅、ダイヤモンド、シリコン、アルミニウムなど、さまざまな基板を加工することができます。このステッパーでは、高度なプログラミング機能も利用できます。これにより、コーティング、イメージング、エッチング、成膜などのプロセスを精度の高いレベルで簡単に制御できます。また、各種ウエハ管理システムにも対応しており、バッチ処理、エラーチェック、自動クリーンアップ機能が可能です。全体として、ULTRATECH UltraStep 1500は、半導体メーカーの製造ニーズに対応する高度な機能と直感的な制御を提供する信頼性の高いウェーハステッパーです。高められた安定性、低熱ドリフト、および製造プロセスの広い範囲のための正確な2次元ウェーハのアライメントを提供します。このステッパーは、さまざまな基板の精密加工に最適で、半導体用途に最適です。