中古 ULTRATECH UltraStep 1500 #9241899 を販売中

ULTRATECHウルトラステップ1500ウェハステッパーは、半導体集積回路（IC）製造に使用される高度なリソグラフィ装置です。このマシンは、さまざまなICデバイスに強力で正確なステップアンドリピートパターニング装置を提供します。UltraStep 1500は、最先端の光学技術とリソグラフィ技術を使用して、パターン操作の最高精度と制御を保証します。ULTRATECH UltraStep 1500は、超微細な画像制御システムとパフォーマンス分析パッケージを備えています。ウルトラファインイメージコントロールユニットは、非常に低いコントラストから高コントラストまで、さまざまな画像強度を提供します。異なった焦点の設定および開きのサイズ；そして精密なパターン操作のための50,000倍の倍率まで。Performance Analysis Packageは、リソグラフィ装置の性能をリアルタイムで監視し、包括的なデータ分析ツールを備えています。UltraStep 1500は最大8インチのウエハサイズです。最大ステッチ速度は毎時2,500ウェハで、最大5ミクロンの解像度でウェハを処理できます。統合されたリソグラフィーツールには、ユーザーがサブミクロンの精度で穴とビアを作ることができる「拡張されたビア」機能が含まれています。また、マルチソースのバックサイドアルミニウムスパッタリング、特別なファーストレベル計測機能、光学制御デバイス登録も備えています。ULTRATECH UltraStep 1500は、24時間年中無休で動作するように設計された、ユーザーフレンドリーで高解像度のウェーハステッパーです。メンテナンス要件が低く、ウェーハやレチクルの変更には最小限のダウンタイムが必要です。UltraStep 1500の高度な制御および監視システムは、さまざまな関連データとグラフィカル情報を表示します。包括的な安全機能には、ウエハカセット用の3ポイントロックアセットと衝突検出機能を備えたウエハオートポジショニングが含まれます。ULTRATECH UltraStep 1500ウェーハステッパーは、半導体ICに強力で精密なステップアンドリピートパターニングモデルを提供する高度なリソグラフィ装置です。UltraStep 1500は、洗練された光学系、画像制御装置、パフォーマンス監視パッケージにより、パターン操作の最高精度と制御を保証し、さまざまなリソグラフィープロセスをサポートします。24時間365日の運用を可能にするために設計された信頼性の高い使いやすいマシンであり、レチクルの変更にはメンテナンスとダウンタイムを最小限に抑える必要があります。