中古 ULTRATECH UltraStep 1500 #293820275 を販売中

ID: 293820275
ヴィンテージ: 1993
Stepper 1993 vintage.
ULTRATECH UltraStep 1500は、さまざまな半導体基板を処理するために設計された先進的なウェハステッパーです。このマッピングステッパーは、従来のステッパーと比較して露光時間を10倍に短縮して焦点精度を向上させます。UltraStep 1500は、さまざまな厚さとサイズのウエハ基板を取り扱うことができます。ULTRATECH UltraStep 1500は、高分解能、幾何学的精度、スループットを備えた小型半導体アプリケーションに最適です。1X〜45Xの広い倍率範囲と静的レーザー光線を利用してウェーハ表面を細かくマッピングし、高解像度の地形パターンを作成します。ステッパーのアライメント精度はウェーハ全体にわたって1。5ミクロン(0。001mm)で、小型金型用途に最適です。UltraStep 1500には、人間工学に基づいたデザインが採用されており、容易なアクセシビリティと調整が可能です。このマシンは、デュアルスロット構成によりウェハの生産に柔軟性を高め、1回のマシンサイクルで2つの異なる基板を切り替えることができます。これは、迅速なターンアラウンドと効率が重要な本番環境で特に便利な機能です。ULTRATECH UltraStep 1500には、自動焦点アライメント装置と自動ウェハマッピング用のグローバルリフレクターが付属しています。また、正確かつ一貫したアライメントとエラーの最小化のためのマルチポジション・システムも備えています。このマシンはまた、正確なステップアンドリピート機能と自動欠陥検査および測定機能を提供します。UltraStep 1500は、処理中の脆弱なウェーハを保護するために特別に設計された耐久性のあるマルチスロットユニットで構築されています。このステッパーは、最も厳しい生産環境でも優れた信頼性とパフォーマンスを提供します。これは、ウェーハの温度制御を均一にし、ウェーハマッピング中の汚染を防ぐのに役立ちます。ULTRATECH UltraStep 1500は、高精度、高速、信頼性の高いウェーハステッパーで、さまざまな小型半導体および家電アプリケーションに最適です。スループットや再現性を犠牲にすることなく最大の歩留まりを確保するために、最高レベルの焦点精度を提供します。
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