中古 ULTRATECH UltraStep 1500 #293820270 を販売中

ULTRATECH UltraStep 1500は、トータルコストと時間を削減しながら、生産効率とスピードを向上させるように設計された強力で完全に自動化されたウェーハステッパーです。そのユニークなデザインと最先端の技術は、ユーザーに大きな柔軟性と制御を提供します。UltraStep 1500は、最大8インチウェーハの容量を持つ最大5つのカセットに対応できます。これは、ステッパーの簡単な構成、プログラミング、および監視を可能にする直感的なタッチスクリーンを備えています。この機器には、動作中の高電圧領域からユーザーを遠ざける連動安全機能も含まれています。ULTRATECH UltraStep 1500は、300Hzの周波数を持つ高性能XYスキャンシステム、0.25µmのXY解像度、最大5。5msの露光時間を備えています。さらに、個々のウェーハ、大型サブリソグラフィ、レチクルアライメントなど、さまざまなウェーハキャリアに対応しています。卓越した精度と再現性を備え、世界トップクラスの露出均一性を± 5％提供します。ウエハスループットは最大200ウェハー/時間で、有機および無機のレジスト材料と互換性があります。UltraStep 1500は、パラレルアライメントとスキャンアライメント、マスク編集、パワフルな露出パターンインオリジナルシーケンスオプションなど、幅広い露出ツールを提供しています。ウェーハステッパーは、優れたハードウェアおよびソフトウェアマシンの拡張性のために設計されており、プロセスまたはコンポーネント技術戦略およびアプリケーションを開発するための革新的なプラットフォームを提供します。ULTRATECH UltraStep 1500は、運用コストを削減するために、高度なエネルギー効率評価、低メンテナンス要件、最小限のスペース設置面積を備えています。さらに、チップ製造ツールのパフォーマンスを常に監視および調整する自動自己診断システムも含まれています。診断アセットは、マシンのリモート監視と制御を可能にする監視および制御モデルと連携して動作します。全体として、UltraStep 1500は強力で正確で完全に自動化されたウェーハステッパーであり、チップの製造を簡素化し、コストと時間を削減します。大量のアプリケーションに最適で、チップ製造生産に最適なソリューションを提供します。