中古 ULTRATECH UltraStep 1500 #293819982 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ULTRATECH UltraStep 1500は、集積回路デバイス、LCD、およびその他の高度な半導体コンポーネントの製造用に設計されたリソグラフィ装置です。この業界標準の生産ツールは、高度な光学系、統合されたモーションコントロールシステム、および自動試験装置を使用して、正確なウェーハステッピングパターンを作成します。400mm x 400mmの最大スキャンサイズと0。75〜20kHzの周波数範囲を備えたUltraStep 1500は、10nm、 7nm、および5nmアプリケーション用のウェーハを製造できます。ULTRATECH UltraStep 1500は、連続波形レーザースキャン技術を使用して、優れた精度と均一性を備えた完璧な円形状、線、およびその他の形状を作成し、繰り返します。レーザー光源は、各スキャンの正確な結果を保証する小さなレプリカマスクのセットを使用して校正されています。このシステムはまた、異なる特徴サイズや形状を認識することができる高度な画像認識ユニットを備えており、それに応じてスキャンパターンを調整するようにプログラムすることができます。UltraStep 1500には、最適なスキャン速度を提供する高度なモーションコントロールシステムが装備されています。それは高速スキャンの適用のための500m/sまでの選択可能なスキャン速度を可能にします。また、可変レーザー出力も可能で、ビーム径、波長、生徒サイズを正確に制御できます。可変レーザーパワーと可変モーションコントロールツールを組み合わせて、動的スキャン速度と電力配分を作成します。ULTRATECH UltraStep 1500は、製造工程の精度を確保し、欠陥を検出するために、統合された自動試験装置を備えています。この自動試験装置は、インプロセス監視、パフォーマンス検証、欠陥検出を可能にします。さらに、この資産は、アラームをトリガーしたり、検出された欠陥の場合に是正措置を講じるようにさらにプログラムすることができます。全体的に、UltraStep 1500は高精度で最高の性能を提供するように設計されており、集積回路およびデバイス製造に理想的なステッパーとなっています。このモデルの高度な機能、精密なスキャン機械、およびインプロセス自動試験装置は、このツールがハイエンド集積回路およびその他の最先端デバイスの製造における品質と信頼性の業界標準を満たしていることを保証します。
まだレビューはありません