中古 ULTRATECH UltraStep 1500 #293671472 を販売中

ULTRATECH UltraStep 1500は、最先端の高精度ウエハステッパーです。この装置は、半導体フォトマスク製造、フォトリソグラフィ、回路計測における用途向けに設計されています。UltraStep 1500は、高い再現性と精度、迅速なサイクルタイム、さまざまな機能豊富な検査および測定機能を備えています。ULTRATECH UltraStep 1500は、ユーザーフレンドリーな操作のための直感的なタッチスクリーンディスプレイを備えた完全自動ウェーハステッパーです。このシステムは、200mmと300mmの両方のウェーハに調整可能なウェーハホルダーを備え、優れたジギング柔軟性を提供します。さらに、厚膜、基板、ガラス、半導体など幅広い基板に対応しています。より高い精度と再現性のために、UltraStep 1500には大口径、高機能レンズフレームとさまざまな高度な光学素子が装備されています。これは、高解像度性能を維持しながら、使用可能な露出面積を増加させ、長い作動距離を提供する独自のレンズ設計を含みます。ステッパーはまた、高解像度のガルボスキャナ、高速で正確なエンコーダユニット、複雑な露光のための高度なレーザーオートフォーカスを採用しています。ULTRATECH UltraStep 1500は、さまざまな計測ツールと簡単に統合できる汎用性の高いステージ構造で設計されています。これにより、自動化された画像キャプチャ、エッジ検出、およびロスエリア測定が可能になります。また、モジュール式の照明設計と高Qの再現性を備えた精密な光学アライメントツールにより、信頼性の高い再現性を実現しています。UltraStep 1500は、ウェハローディングとアンロードのためのロボット処理システムと容易に統合された高精度のステージ資産を備えています。低ドリフトモーションコントローラにより、正確で再現性の高い位置決めが可能になり、本番稼働中も許容範囲を維持できます。ULTRATECH UltraStep 1500は、フォトマスクの製造、リソグラフィ、計測における精密なアプリケーション向けに設計された、洗練されたユーザーフレンドリーなウェーハステッパーです。その高性能な光学モデルと強力なステージモデルは、精度と再現性を提供します。モジュラーコンポーネント、ロボットローディング、直感的なユーザーインターフェイスにより、サイクルタイムが速く、既存のシステムに簡単に統合できます。