中古 ULTRATECH UltraStep 1500 #293604405 を販売中
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ULTRATECH UltraStep 1500は、半導体ウェーハの微細加工のための世界クラスの生産ツールです。この6軸ウェーハステッパーは、最初のミクロンから最後のミクロンまで幅広いウェーハ表面を提供します。ステッパーは、高精度で正確な動きを可能にし、各デバイスで高精度な機能を生成する高い再現性を備えています。UltraStep 1500は、独自のチップセットと、高速かつ正確なアライメントと露出を提供する自動スキャンシステムで動作します。これにより、効率的で反復可能なプロセス結果が得られます。ステッパーには、完全なX-Yテーブル、自動化されたリチクルアライメントと変更、高速で高解像度のステッピングモーターがあり、サイクル時間を最小限に抑えながらプロセスの再現性を維持します。このツールは、高精度なパターン定義のために、スリット画像処理と9画像可能なレチクルを統合した最新のUV投影光学技術を利用しています。特許取得済みのパターン集中アルゴリズムとバックフォーカスアルゴリズムは、パターン定義よりも最大限の精度を維持しているため、マイクロリソグラフィやナノインプリントや接触印刷プロセスに最適です。ULTRATECH独自のアプリケーションプログラムインターフェイス（API）により、より大きな制御とユーザー定義のパフォーマンスパラメータも可能になります。これにより、速度と精度が向上し、生産性が向上します。ユーザーフレンドリーなGUIは簡単にプログラムでき、効率的で反復可能なプロセスと結果のためのさまざまな設定を提供します。ULTRATECH UltraStep 1500には、完全に自動化されたプロセス監視と診断のための追加のシステムコンポーネントも含まれています。これにより、システムで製造されたすべてのデバイスが最高品質の基準を満たしていることが保証されます。さらに、耐久性の高い産業用エンクロージャは、効果的なシールドとセキュリティを提供します。UltraStep 1500は、高品質のウェーハ微細加工デバイスに最適です。最新の機能と信頼性の高いパフォーマンスにより、最大のスループットと精度を保証し、ユーザーフレンドリーなプログラミングは究極の柔軟性を提供します。
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