中古 ULTRATECH Titan II #9374642 を販売中

ULTRATECH Titan IIは、フォトリソグラフィ、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）などの自動ウェーハ処理アプリケーション向けに設計された、高性能で信頼性の高いウェーハステッパーです。このコンパクトなデバイスは、幅広いニーズに対応する多種多様な機能と機能を提供します。タイタンIIは、サイレントウェハハンドリングと正確な位置精度をサポートする、発射およびトラックリニアモーション装置により、高い精度と再現性を備えています。また、複数のパターン制御モードが組み込まれているため、プロセスの再現性と精度が大幅に向上します。このマシンは、ハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントへの迅速なアクセスのためのモジュール設計を備えており、迅速なメンテナンスとカスタム構成を可能にします。ウェーハステッパーは、画像処理ベースのデュアル軸システムを使用して、ウェーハの正確な位置、スキャン、インデックス、測定を行います。密閉されたトラックカメラポートに設置された一連の高性能オプティクスとビデオカメラは、詳細な画像を提供し、レチクルアライメント中の焦点距離を測定します。このような技術は、生産プロセスを最適化するための強力なレベルの制御を提供します。ULTRATECH Titan IIには、強力な組込みプロセッサと統合ソフトウェアを備えたフィールドプログラマブルゲートアレイ（FPGA）制御ユニットが内蔵されており、動的なパターン制御アルゴリズムと高速処理を可能にします。外部インターフェイスと制御マシンは、TCP/IP、イーサネット、Modbus Ethernetなどの複数の通信プロトコルをサポートしており、データ転送、ソフトウェアおよびハードウェア環境、およびツールパフォーマンスをリモートで制御できます。Titan IIは、自動化されたウェーハ処理作業において精度と精度を必要とするあらゆる実験室や生産環境に最適なツールです。その高度な機能と制御により、プロセスの再現性と信頼性が保証され、堅牢な性能と設計により、信頼性と費用対効果が高くなります。