中古 ULTRATECH Titan 4700 #293765596 を販売中
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ULTRATECH Titan 4700は、200mmウェーハステップオーバーオートメーションとイメージキャプチャオプティクスにより、最先端の微細加工ニーズに対応できる最先端のウェーハステッパーです。特許取得済みで、特許出願中でユーザーフレンドリーなデザインにより、ワンクリックで正確なウェーハステップオーバーが可能です。Titan 4700は、超高解像度光学とエアーベアリングスピンドルを活用して、優れた機能認識と位置決めを提供します。高速オートフォーカス装置は、高出力のエキシマーおよびダイオードレーザー、広帯域LED、電子ビーム顕微鏡技術など、多くのイメージングオプションで迅速かつ正確なイメージングを提供します。柔軟性とコントロールに関しては、ULTRATECH Titan 4700が理想的な選択です。高解像度プロジェクションリソグラフィと従来のウェーハパターニング技術を切り替える機能を備えています。また、リソグラフィ中にウェーハ全体に均一または均一でないフラックスを適用する機能を提供し、プロセス制御と効率の向上を可能にします。耐久性と信頼性のために、Titan 4700は冗長モーションコントロールデバイスと光学システムを備えており、冗長性とプロセスの稼働時間を実現します。統合されたクローズドループウェーハ制御システムにより、エラーのないウェーハマッチングが保証されます。さらに、ハードプレートベースのロードポートユニットはウェーハの汚染や破損のリスクを低減し、温度制御された冷却ブロックは露出時の温度安定性を確保します。全体として、ULTRATECH Titan 4700は、今日の半導体製造の要求を満たすことができる高度で信頼性が高く、ユーザーフレンドリーな機械です。堅牢なツール設計と高解像度のイメージングとウェーハステップオーバーオートメーションにより、マイクロファブリケーションプロジェクトに最適です。Titan 4700 by ULTRATECHは、最も複雑な微細加工要件に対応する理想的なウェーハステッパーです。
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