中古 ULTRATECH Titan 4700 #293751572 を販売中

ULTRATECH Titan 4700は、マルチパターニングリソグラフィ用途向けに設計された高性能ウエハステッパーです。さまざまな角度と深さで高解像度の写真を撮影し、シリコン、セラミック、複合材料などのあらゆる基板に高収率パターンを提供することができます。Titan 4700は、プロセスオートメーションと計測機能と高解像度イメージング装置を組み合わせることで、サイクルタイムを短縮し、動作を簡素化するように設計されています。このイメージングシステムは、高度な高速光学系と超薄型フォトマスクを使用して、線形画像歪みの0。5％未満の高精細画像を生成します。また、ウェハステッパーは露出ツールの露出特性を最適化し、パターニングプロセス中の精度を向上させます。強力な高速プロセッサとデジタルビデオカメラを搭載し、精度と柔軟性を向上させています。高速処理機能により、ステッパーはより小さなフォトマスクから複雑なパターンを生成できます。露出ツールには、最大フォーカス用のテレセントリックスキャンモードや、異なる基板にわたる高精度なイメージングのための最適化された狭角露出モードなど、いくつかの露出モダリティがあります。ULTRATECH Titan 4700には、より高い精度でマルチステップリソグラフィープロセスの効率を高める自動精密アライメントマシンも含まれています。完全に自動化されたアライメントツールにより、マスク位置をサブミクロン精度で正確に調整できます。この機能により、全体的なサイクル時間が短縮され、高収率パターンのより効率的な生産が可能になります。アセットには、アライメント計測やパターン計測などの高度な計測機能も搭載しており、高解像度のパフォーマンスを実現しています。アライメント計測は、パターニングの正確性と品質を保証するために、プロセス内の測定と診断評価を可能にします。パターンメトロロジーは、パターンプロファイル解析、断面フィーチャーマッピング、パターン比較などの追加の測定を提供し、より高い品質管理を実現します。Titan 4700は、リソグラフィープロセスを最適化し、スループットを向上させるために設計された最先端のウェーハステッパーです。その高度なイメージングモデルと複雑なパターニング機能は、幅広い基板上で高解像度のイメージングと正確なパターニングを提供します。自動化された精密アライメントおよび計測機能により、高品質の結果が得られ、サイクルタイムのパフォーマンスが向上します。汎用性を備えたULTRATECH Titan 4700は、マルチステップリソグラフィープロセスと高収量パターニングアプリケーションに最適です。