中古 ULTRATECH Titan 4700 #293628670 を販売中

ULTRATECH Titan 4700ウェーハステッパーは、マイクロエレクトロニクスデバイスの迅速な製造のために設計された最先端の精密リソグラフィーマシンです。ファンアウトウェハ、RFデバイス、ディスプレイ、基板などの微細構造部品の大量生産が可能です。Titan 4700ステッパーは、高速でマルチレベルのスキャンイメージング装置を備えており、ウェーハ表面のフォトレジスト層の正確で均一な堆積と転送を可能にします。再現性に優れたULTRATECH Titan 4700は、12。5cmおよび15。2cmウェーハのサブミクロン機能の量産に最適です。Titan 4700ステッパーには、エッチング性能とフィルム品質管理のために、HeNeとKrFの両方のビームを生成するデュアル層デュアル波長レーザーソースであるNicoletteデュアルビームシステムが装備されています。また、ダブプリズムビームスプリッターとワイドフィールドコンデンサーレンズを備えており、優れた精度でコンポーネントを0.25µmまで簡単に画像化できます。さらに、ULTRATECH Titan 4700は、可能な限り最も正確な生産を保証するために非常に正確なステッパーアライメントを提供します。Titan 4700ステッパーは、ウェーハレベルのカセットツーカセット加工機を使用して、ウェーハの高速で効率的なローディングとアンロードを容易にします。その先進的な真空およびガス処理システムは、クリーンで高品質のウェーハ生産に必要な環境を提供します。ULTRATECH Titan 4700のユーザーは、優れたエッチング反復性のために自動的にウェーハを揃えるようにマシンを構成することもできます。さらに、UMARA™（ユニバーサルマスクとレチクルアライメント）ツールをプログラムすることができ、マスクとレチクルをウェーハと非常に正確に整列させ、信頼性の高い再現可能な処理を行うことができます。最後に、Titan 4700には、プロセスフィデューシャルマーク、デュアルレベルステージの位置決め、自動露出とフォーカストラッキング、フィールドマッチング、カスタマイズ可能なレシピローディングなどの生産性向上の機能が搭載されています。これらの機能は、ULTRATECH Titan 4700の大きな機能サイズと比類のない精度とともに、このウェハステッパーを、マイクロエレクトロニクス部品の費用対効果の高い大量生産に理想的にします。