中古 ULTRATECH Titan 4700 #149700 を販売中

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ULTRATECH Titan 4700
販売された
ID: 149700
ヴィンテージ: 1997
Wafer stepper, 5", 6" & 8" Semi-auto 2.0 micron lens 8" Universal Chuck 1996 vintage Pre-aligner-Alignment System: MVS overlay <500nm, 3s 1000W illuminato Includes chamber 1997 vintage.
ULTRATECH Titan 4700は、大量の高精度フォトリソグラフィ用途向けに設計された高度なウェーハステッパーです。この装置は幅広い機能と柔軟性を備えており、比類のないスループットと費用対効果を維持しながら、最も詳細で高解像度の画像を作成することができます。Titan 4700は、ULTRAFETCHテクノロジーを使用して設計された5軸ウェーハステッパーで、製品の複雑さやボリュームに関係なく、高速なスループットと最大精度を実現します。このシステムは、フルフィールドコンタクトイメージングコラム、高解像度のレイヤーを備えた広い3次元モーションコントローラ、高速ステージで構成されています。ULTRAFETCHの技術は高速操作の間でも最高レベルの正確さのためのスキャンおよび投射プロセスを結合します。ULTRATECH Titan 4700は、フルフィールドプレーンイメージングとULTRAFETCH技術で設計されており、精密光学系を使用して、広い領域でフラットで一貫した高解像度画像を提供します。このユニットはまた、多数の選択肢と解像度を備えたインライン光学機能を備えており、メーカーは小型、詳細な機能、または広い領域に焦点を当てることができます。Titan 4700は、ステージとレチクルの両方に独立した制御位置を含む高度な5軸モーションコントロールマシンを備えており、位置決め時に高い柔軟性と精度を提供します。また、ユーザーフレンドリーなデザインとシンプルで直感的な操作で設計されており、安全性と信頼性を高めています。ULTRATECH Titan 4700は、5軸の自由度を持つ高速ステージと立体モーションコントローラを内蔵しています。これには、シングルサイトレチクルとマルチサイトレチクルの選択、およびジェットドライブまたは微細なバブルコントロールを提供するステージの選択が含まれます。Titan 4700は、一般的なウエハ基板との互換性も考慮して設計されているため、ツールを基板から別の基板に再調整することなく、さまざまな基板に簡単に移動できます。さらに、部品の潤滑や調整が不要な低メンテナンス設計となっています。全体的に、ULTRATECH Titan 4700の高度なウェーハステッパーは、スループット、精度、および費用対効果の面でフォトリソグラフィーアプリケーションの最高要件を満たすように設計されています。フルフィールドプレーンイメージング、ULTRAFETCH技術、高速ステージ、3次元モーションコントローラを備えたTitan 4700は、最適なフォトリソグラフィ生産のための包括的なソリューションを提供します。
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