中古 ULTRATECH Star 100 #293809191 を販売中

ULTRATECH Star 100は、極めて高精度で高速なウェーハ処理を可能にする、世界をリードするウェーハステッパーです。ULTRATECH STAR100は、最新のレーザースキャン技術を活用し、高度な機能と精度を提供し、生産性を最大限に高めます。Star 100は、2インチから8インチまでのさまざまなウェーハサイズに適していますが、8インチのウェーハ用に特別に設計されています。これは、異なる材料の自信を持って処理するための355nmのレーザー波長だけでなく、顕微鏡の調整の正確な再現性のための4つの電動ステージを備えています。前述の電動ステージは、ナノ構造スケール機能の絶妙なパターン化のためのナノメートル分解能を備えています。このマシンはさらに干渉測定機能を使用して調整することができます。最新のウェーハ位置決め技術を活用し、垂直リニアモータによるロープロファイルステージ設計STAR100採用し、高い加速、迅速な位置決め、極めて安定した性能を発揮します。このデバイスはまた、拡張ダイナミックレンジと優れたステップ精度を誇っています。3Dパターン測定または2次元パターン認識による高度な統合パターン認識機能により、信頼性と効率的な処理が可能です。ULTRATECH Star 100は、独自のパターン認識機能と業界最小のステージ動作により、ハイエンドチップや光学部品のスループットを大幅に向上させます。ULTRATECH STAR100には、ユーザーがさまざまな製品のカスタマイズされたスキャンおよびプロセス操作を作成できるようにするさまざまなソフトウェア技術が含まれています。また、基板の取り扱いを強化するためのフェイスリフティングとエッジリフティング、および簡単で正確な位置決めと取り扱いのための基板を準備するための自動ローディングモジュールが装備されています。さらに、走査型電子顕微鏡との高度な統合により、材料の組成や欠陥をリアルタイムで確実かつ迅速に検出することができます。Star 100ユニットは、信頼性の高い電源と動作制御を提供します。Fシータレンズの削減、レーザースキャナーヘッドアセンブリなどのコンポーネントはすべて、ユーザーの利便性とダウンタイムを最小限に抑える単一のパッケージスイートに組み込まれています。全体として、STAR100は産業処理のための包括的で包括的なソリューションです。直感的なデザインと高度な機能により、ユーザーは比類のない俊敏なパフォーマンスと精度を実現できます。