中古 ULTRATECH Star 100 #293617180 を販売中

ULTRATECH Star 100は、高度なフォトリソグラフィープロセス用に設計されたウェーハステッパーです。計測や検査など、さまざまな中央プロセスに優れた分解能と精度を提供し、より簡単で効率的な生産プロセスを実現します。ULTRATECH STAR100は、6インチから12インチまでの幅広いウェーハサイズに対応できる高度なフォトリソグラフィックステッパーです。これは、350 Wランプ、0。25-4。00 NAの数値開口度catadioptric照明を備えた高出力UVソースと10X/6X光学的低減を備えています。これにより、被写界深度、焦点深度、高コントラスト画像の不均一性を備えた高解像度画像を作成できます。Star 100には、ウェーハプレーンとステップアンドリピートレベルの両方の位置決めシステムが装備されています。これにより、クイックリピート位置決めと高いステップアンドリピート率で高精度になり、プロセスの精度を高めながら、より大きなプロセス領域をより迅速にカバーすることができます。さらに、ステッパーには電動ウェーハステージが装備されており、高速かつ正確なウェーハアライメントが可能です。STAR100はまた、シンプルで使いやすいインタラクティブなユーザーインターフェイスを備えています。ユーザーは、データのグラフィカル表示と分析のためのアプリケーションソフトウェアのホストにアクセスする機能を持っています。これにより、グラフィカル形式と数値形式の両方でデータをレビューできます。さらに、ユーザーインターフェイスを使用して露出パラメータを設定および制御することもできます。ULTRATECH Star 100は、フォトリソグラフィーウェハステッパー業界のリーダーであり、高度なアプリケーションに優れた解像度と精度を提供します。これは、簡単な設定と操作のためのモーター式ウェーハ位置決めシステムとユーザーインターフェイスを備えています。また、高出力UVソースにより、被写界深度と焦点深度の高い高解像度画像を作成することができ、各画像に細かいディテールを作成することができます。ULTRATECH STAR100は、強力で信頼性の高いフォトリソグラフィックステッパーを必要とするユーザーに最適なソリューションです。