中古 ULTRATECH SSP 300E2 #9135164 を販売中
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ID: 9135164
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
GHI Broadband illumination stepper, 12"
(3) Load ports
Reticle
(2) Wafers
Transfer robot
Pre-aligner
Wafer edge exclusion arm
XY-Stage, 12"
Illumination
Electronic rack
Transformer
Optic:
Mirror, cold, GHI
Reflector, ellipsoidal
Lens: PLCX, SI02, 48FL, 22TH, 36DIA
Mirror, detector, with holes, WFLD
Filter, UV blocking, GHI
UV Type: GHI Line / 436 nm
Illumination: Mercury arc lamp, 1200 W
Field size: 44 mm x 25.7 mm
Reticle size: 152 mm x 152 mm x 6.35 mm
Stage:
Focus: Air probe type
WEM: Ring type
Laser: He-Ne laser, 633 nm
2004 vintage.
ULTRATECH SSP 300E2は、半導体リソグラフィ用に設計された高精度ウエハステッパーです。最先端のリソグラフィ技術と非常に信頼性の高い操作を提供する高度なオートメーション機能を組み合わせた革新的な機器です。SSP 300E2は、汎用性の高い高性能ウェーハアライメントシステムと最先端のモーションコントロール技術を備えており、ステッピングチャック上のウェーハの迅速で正確かつ再現性の高い位置決めを提供します。一体型オートフィラーにより、ウェーハインデックスが自動的に完了するため、手動操作とミスの可能性が排除されます。ULTRATECH SSP 300E2ウェーハステッパーは、最適化された5x露光と高度なマルチパターニングなど、幅広い高度なイメージング機能を提供します。大型ワーキングエリアを装備し、14インチウエハの全面露光が可能です。SSP 300E2は、部分的に露出された複数の印刷、コンフォーマル印刷、シフト露出印刷、ステップ露出など、さまざまな印刷モードをサポートするように構成されています。オートアライメントと線量シェーディング機能を採用することで、3mmのステップ精度を実現します。ULTRATECH SSP 300E2は、オートメーション機能を強化して設計されており、完全に自動化されたマシンを提供しています。このツールには、ウェーハトレイローダーを備えたロボットハンドラーが含まれており、最大10個のウェーハをチャックに自動的に読み込むことができます。また、統合されたジョブプログラムジェネレータを備えており、ユーザーが複数の成分用量とオーバーレイを迅速かつ簡単に設定できるように設計されています。SSP 300E2は、最小線幅90nmの優れたイメージング性能と、サブミクロン範囲への高度な解像度を提供します。時間の経過とともに運用コストを削減するために、効率的で省エネです。一貫して信頼性の高い動作を保証するために、アセットはハードウェアとソフトウェアの診断機能を内蔵して設計されています。ULTRATECH SSP 300E2ウェーハステッパーは、高度なリソグラフィ用途に理想的なツールであり、信頼性の高い操作、正確なステッパー位置決め、高速、正確、再現性の高いイメージング性能を提供します。市場で最も技術的に先進的なシステムの1つであり、コスト効率が高く効率的な生産環境に最適です。
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