中古 ULTRATECH Spectrum 3e #9249076 を販売中

ULTRATECH Spectrum 3eは、新興のリソグラフィ用途の需要に対する費用対効果の高いソリューションとして設計されたハイエンドのミッドレンジのウェーハステッパーです。このステッパーは、ウェーハの精密かつ再現性のあるイメージングを提供するように設計されています。Spectrum 3eは、精度と再現性を備えた最高品質のウェーハイメージを生成することができ、一貫した性能のための重要なリソグラフィーパラメータの優れたプロセス制御を提供します。ULTRATECH Spectrum 3eは、スループットと出力精度を向上させるさまざまな高度な機能と強力なツールを備えています。ユーザーフレンドリーなインターフェース装置は、イメージングパラメータの正確な制御と迅速なセットアップを可能にし、このステッパーは迅速な納期と高品質の結果に最適です。機械のリソグラフィーヘッドは、可変的な数値開口とたわみセンシングを提供し、正確さを損なうことなくステップサイズと再現性を向上させます。さらに、統合された光学イコライザは、困難なレチクルを入力して整列するための正確な精度を提供します。ステッパーには、非接触、非破壊測定の3Dレイヤーとマスク画像の高さを提供する統合されたオーバーレイ測定システムもあります。さらに、露光にはUV LEDまたは水銀アークランプを使用することができ、低粒子の導入と画質を維持しながら、プロセス要件と解像度の両方を最適化する柔軟性を可能にします。統合されたレチクル検査ユニットは、優れた分解能を備えており、より高いスループットと歩留まりを可能にします。Spectrum 3eの高度なレチクルスキャナは、0。3ミクロンの小さな欠陥を正確に検出することができ、最も困難な欠陥や異常を検出することができます。このマシンはまた、斜めとプロファイルのビューの2-Dおよび3-Dスキャン機能をサポートしています。ULTRATECH Spectrum 3eは、高性能で費用対効果の高いツールとしての地位に貢献するさまざまな機能も提供しています。これは、真空ホールドダウン、調整可能な高さステージ、および重要なパラメータが予期せず変更されたときにユーザーに警告することができる自動レベル監視アセットを提供します。さらに、高度なMOSFETドライポンプは、空気圧とガスの流れを制御し、マスフローコントローラはクリーンな環境を確保し、汚染を防止するのに役立ちます。Spectrum 3eは信頼性の高いウェーハステッパーであり、リソグラフィーのニーズに合わせて高精度で再現性の高いイメージングソリューションを提供します。その強力な機能と高度な技術により、ULTRATECH Spectrum 3eは優れた性能を発揮し、最終的には品質の向上と歩留まりの向上につながります。