中古 ULTRATECH Spectrum 3 #9395523 を販売中

ULTRATECH Spectrum 3は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造プロセスの正確な処理と最適化を提供することに重点を置いて開発されたウェハステッパーです。このステッパーは、高解像度リソグラフィ用に設計されており、小さなフィーチャーサイズを製造するための困難なプロセスに精度と高いスループットを提供します。Spectrum 3は、254nmレーザーベースのシステムを備えており、半導体ウェーハにさまざまな高度なパターンを書き込むことができる強烈な紫外線を生成します。このステッパーは、高度なイメージング機能も備えています。ウェーハ性能マトリックスのスリットスキャンイメージングにより、各クリスタル素子の露出を最適化し、最高品質のコピーを保証します。さらに、デジタルイメージ安定化（DIS）機能により、オーバーレイアライメントが向上し、画像出力がスムーズになります。ULTRATECH Spectrum 3は、スループットを向上させるために、高い被写界深度と最適化されたフォーカスシステムで設計されています。また、5インチウエハと8インチウエハの両方をサポートし、同じ焦点とオーバーレイ精度を維持しながら、高度な光学系は基板サイズの機能を向上させます。また、SOG、深紫外線エポキシ、PIBCなどの様々なリソグラフィ材料にも対応しています。高度なリソグラフィ機能とは別に、Spectrum 3は多くの特殊な機能を備えて設計されています。基板ルーティング、インサイトとクロスサイトステッチ、シリアルオーバーレイアライメントなど、さまざまな高度な機能をサポートしています。高いスループットと精度により、リソグラフィ制御のフィードバックに必要な時間も短縮されます。さらに、このステッパーは耐薬品性に優れた構造で設計されており、従来のステッパーの範囲外で露出および加工条件を処理することができます。全体として、ULTRATECH Spectrum 3は、高度なマイクロエレクトロニクスデバイス製造用に設計された強力なウェハステッパーです。高解像度のリソグラフィ機能と特殊な機能により、このステッパーは優れたスループットと精度を提供することができ、高精度で技術的に高度な操作に最適です。