中古 ULTRATECH Spectrum 3 #9243698 を販売中

ULTRATECH Spectrum 3は、高度なリソグラフィ技術を使用して半導体ウェーハ上に微細な回路と幾何学的形状を作成する最先端のウェーハステッパーです。このマシンは、シングルおよびダブルパターニングプロセスで優れた精度、スピード、および信頼性を提供します。スペクトル3の5軸モーションコントロール装置は、サイクル時間を短縮し、均一性と精度を向上させるのに役立ちます。統合されたウェーハアライメントシステムを備えており、3D登録プラットフォーム上にウェーハを配置する際のサブミクロン精度を提供し、優れたウェーハオーバーレイを保証します。二軸スクライバーヘッドは、リトフィルム上の画像の正確な再現を保証し、スキャンユニットは、30um/sまでの速度で、並べられたまたは箱入りのスキャンパターンで各ダイを均等に露出します。ULTRATECH Spectrum 3は、プロセスの多様性と拡張性を考慮して設計されており、さまざまなリチクルサイズとスリット設計で使用できます。最高の機械精度と再現性を実現する高性能ステッピングモータを搭載しています。また、照明、開口数、フォーカスコントロールの最適化により、リソグラフィ性能を向上させる高度な光学プラットフォームを備えています。これは、振動や温度によるリソグラフィー工程の劣化を最小限に抑えるために、統合された振動絶縁技術を組み込んでいます。Spectrum 3のエレクトロニクスツールは、基本的にフォトレジストコーティングの精度を最大化するように設計されています。デジタルディスプレイ、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたコントローラなど、幅広い制御オプションを備えています。ULTRATECH Spectrum 3は、CEL自動故障検出アセットを含む画像解析ツールの選択肢も提供しています。全体として、Spectrum 3は強力で効果的なウェーハステッパーで、さまざまなリソグラフィープロセスで優れた機能性を確保するように設計されています。これまでにない精度、スピード、再現性を提供し、生産プロセスを合理化し、比類のない品質管理を提供するように設計されています。