中古 ULTRATECH Spectrum 3 #9128729 を販売中

ULTRATECH Spectrum 3は、ラウンドウエハ上で微細なマイクロエレクトロニクス回路を製造できる最先端のウェハステッパーです。高度なフォトリソグラフィーシステムのSpectraラインの一部として、Spectrum 3は高度な精度と精度を備え、比類のないレベルのオートメーションとユーザー制御を提供します。ULTRATECH Spectrum 3は、最高2500ミクロン/秒のクラス最高のスキャン速度を備え、従来のシステムで必要とされる時間のほんの一部で複雑な回路を生成することができます。特許取得済みのPulse Tuning Technologyは、スキャン中の熱の乱れを最小限に抑え、ウェーハ全体の画像を正確に登録します。Spectrum 3は業界標準の繰り返し条件をサポートしており、重金属や高密度エッチングレジストなど、幅広い光学材料で動作できます。比類のないレベルのオートメーションを提供するULTRATECH Spectrum 3は、シングルまたは2露光モードで使用できます。2露光モードでは、ポリリソグラフィックまたはステップ露光パターンのいずれかで操作できます。さらに、コンピューター制御の自動焦点調整機能を備えており、ウェーハ全体の焦点を最適化し、ウェーハの輪郭の不均一性による歪みを最小限に抑えます。Spectrum 3は、柔軟性と拡張性を最大限に高めるように設計されています。ウエハーをプリロードできる8つのカセットを備えたモジュラーロボティクスシステムを内蔵しています。これにより、手動でのローディングやウェーハの取り扱いが不要で、継続的かつ自動化された操作が可能になります。ユニットは無人モードでも操作でき、人件費を大幅に削減できます。さらに、クイックチェンジカセットにより、1台のマシンで複数のウェハサイズを使用することができます。各フォトリソグラフィーチャンバーのパラメータを個別にプログラムすることができ、ULTRATECH Spectrum 3は最も要求の厳しい許容条件を満たすことができます。このツールはまた、セットアップと操作オプションを支援するインタラクティブなグラフィックオーバーレイを含む直感的なユーザーインターフェイスを備えています。ULTRATECHでは、最先端のフォトリソグラフィーシステムを提供することは方程式の一部にすぎません。同社は比類のないレベルのサービスとサポートを提供し、すべての資産が最高のパフォーマンスを発揮していることを保証します。エンジニアとサービス技術者のULTRATECHネットワークは、24時間年中無休で利用でき、設置、メンテナンス、修理、およびトレーニングの支援を提供します。これにより、お客様はすべてのフォトリソグラフィーニーズに対してULTRATECHシステムを自信を持って信頼できるようになります。