中古 ULTRATECH Saturn #9089260 を販売中

ULTRATECH Saturnは最先端のウェーハステッパーです。直径8インチまでのウェーハ上の集積回路やその他の構造を自動的かつ正確に整列して露出するように設計されています。統合された包括的な温度制御技術により、クリーンで安定した環境を維持しながら、高精度なアライメントとプロセス制御を可能にします。この装置は、超微細線幅、極端なアスペクト比、深紫露光などの先進的な製造技術に特に適しています。このシステムは、ハイエンドで頑丈で耐久性のあるアーキテクチャから構築され、長寿命の連続動作を保証します。さらに、Saturnは、フルドメインの光学イメージングユニット、コプロセッシングアーキテクチャ、および最高レベルの寸法均一性と高精度のオーバーレイ制御を実現するための統合技術など、いくつかの高度な機能を提供しています。機械に統合される紫外線光源は最も高い露出正確さおよび優秀な性能のためにとりわけ設計されます。さらに、広範囲の波長とエネルギーをサポートし、さまざまなプロセスやアプリケーションに簡単に設定できます。ULTRATECH Saturnは、照明とステッパー機構を正確に動かす洗練されたサーボツールで構築されています。光学アセットのX軸とY軸には高解像度のエンコーダがあり、ウェハの高精度なアライメントが可能です。さらに、プレミアムステッピングモーターにより、露出プロセスの手動/半自動実行を制御できます。さらに、Saturnは独自の画像処理技術を使用して、優れたアライメント精度を実現しています。洗練されたユーザーインターフェイスと統合されたコントロールにより、迅速かつ正確なリアルタイムアライメント調整が可能で、手動と自動の両方の処理が可能です。全体として、ULTRATECH Saturnは強力で洗練されたウェーハステッパーであり、さまざまな洗練された製造プロセスに正確かつ正確な結果をもたらすように設計されています。ハイエンドで頑丈なアーキテクチャと統合された高度な機能により、効率的で便利なウェーハ処理に最適です。