中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9378645 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 3eは、ULTRATECHが開発した最先端の精密ウェーハステッパーです。これは、競合ステッパーソリューションよりも優れた均一性と精度でウェーハを移動する高精度、自動化されたステージを備えています。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 Eは、超高精度のZeiss Carl Zeiss光学ビームパス装置を使用して、ウェーハ上の正確な露光パターンを実行します。光学システムは、マスクプレートからウェーハにパターンをキャプチャする高出力レーザー、照明レンズ、投影レンズで構成されています。Saturn Spectrum 3eは高度な"Autofocus Sequence Control'ユニット（ASCS）を備えており、オペレータは目的のジョブ要件に合わせてフォーカス設定を最適化できます。ASCSマシンはまた、高品質の画像を確保するために、レーザーの強度と焦点を調整するマクロおよびマイクロレンズプロファイルを提供します。SATURN SPECTRUM 3 Eには、ダイレクトライト技術を活用した25Wソリッドステートレーザーが搭載されており、リコアタイムを短縮し、ウェーハに書き込まれたパターンの品質を向上させます。この革新的なレーザーツールは、優れたエッジアキュイティと優れたフォーカス深度で小さなフィーチャーサイズをスキャンすることができます。ULTRATECH Saturn Spectrum 3eは完全に自動化されたプロセス制御モジュールを備えており、オペレータはプロセス内のプロセス変動を監視し、予測診断機能を提供します。このモジュールを使用すると、手動でステッパーの設定を変更することなく、各ウェーハの材料とプロセスレシピに基づいてパラメータを調整できます。ステッパーのクローズドループ最適化機能により、より精度の高いパターニングが可能ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 Eの設計により、さまざまな半導体回路パターニング用途で高いスループットと精度を実現します。このステッパーは、フォトリソグラフィ、イオンミリング、物理蒸着などのプロセスに、高速で信頼性が高く、費用対効果の高いパフォーマンスを提供します。それは光学および熱安定材料を使用するように設計されています。Saturn Spectrum 3eには、プログラマブルエラー補正ツール、特殊露出マスク、高度なオートメーション機能、自動調整および自動整列機能、さまざまなインライン光学およびスキャン技術をサポートする洗練された計測スイートなど、さまざまなオプションが用意されています。結論として、SATURN SPECTRUM 3 Eは最先端の高精度ウェーハステッパーであり、幅広い基材を使用したパターニングプロセスにおいて画期的な性能を提供します。高精度で自動化された機能を備えており、プロセス変動を低減し、信頼性の高いプロセス性能を提供します。半導体業界の精密パターニング用途に最適なツールです。