中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9293525 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 3eは、精密設計されたマイクロエレクトロニクス製品の高精度生産のために設計された最先端のウェーハステッパーです。マイクロエレクトロニクス製品業界の幅広い要求を満たすように設計された高度なロボット機能を備えた完全自動化された機器です。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 Eは、ウェーハから4-Δmmまでのサイズの複数の製品を製造することができます。Saturn Spectrum 3eは、独自の高解像度露光システムを使用して、リソグラフィック位置を正確に特定し、写真レジストのターゲットとなる部分を非常に正確に露出および除去するプロセスを自動化します。また、最高の再現性と性能を確保するロボット機能を搭載しています。たとえば、3eは6軸の動きを使用しているため、追加のアライメントツールを必要とせずに正確にピックして配置できます。さらに、3eはオンボードビジョンユニットを使用してすべての動きを検証し、振動やその他の環境要因によるずれを排除します。3eはまた、高感度の計測機を内蔵しており、プロセスパラメータを正確かつ信頼性の高い迅速な検証が可能です。これには、寸法計測、表面計測、およびマイクロエレクトロニクス製品の製造において高品質を保証する自動検査機能が含まれます。高速かつ正確であることに加えて、3eはハイエンド機能を備えているため、非常に費用対効果が高くなります。その高いスループットにより、ダウンタイムが短縮され、スループットが向上し、投資収益率が向上します。さらに、モジュラー設計により、さまざまな生産ラインへの容易な統合が可能になり、競争力のある価格の単価により、生産コストの全体的な削減が可能になります。最後に、3eは安全性と信頼性に目を向けて設計されています。インテリジェントなプラズマコンバータツールは、低オゾン濃度ジェネレータ（LCG）を使用してダウンタイムを大幅に削減し、最先端のパッシベーションアセットは安全な操作を保証し、3eは最も要求の厳しいアプリケーションに自信を持って取り組むことができます。要するに、SATURN SPECTRUM 3 Eは、比類のない精度、速度、およびコストのメリットを提供する画期的なウェーハステッパーです。それは精密設計されたマイクロ電子プロダクトの生産のための完全な選択、確実そして現実的にです。