中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9280618 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 3eは、精密リソグラフィ投影用途向けに設計された高性能ステッピング装置です。フェーズドアレイ3枚の高効率レンズを搭載した多段式システムで、0。2ミクロンのノミナルまでの撮影が可能です。このユニットは、独立した照明源の配列を備えており、エッジの欠陥、フィーチャーのずれ、またはオーバーラップを迅速かつ正確に検出することができます。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 Eは、高解像度イメージング用にオプションの4thレンズを備えた柔軟な構成を備えています。また、特許出願中のSample Exchange Chamberも含まれており、ユーザーはサンプルを迅速かつシームレスに切り替えることができます。機械はまた非常に耐久性があり、時間の経過とともに最高の解像度を保証する、長期的な設計を持っています。Saturn Spectrum 3eは、光学設定を調整して正確な画像結果を出力できる高度な光学設定を提供します。また、革新的で高性能なカメラツールも含まれています。オンボードイメージングソフトウェアは、カメラパラメータとリソグラフィ構造を自動的に同期します。さらに、ユーザーはフルフレーム解像度で画像をキャプチャすることができます。このアセットは、CPA （Contour Point Accuracy）やFPD （Fine Pitch Detection）などの微細なリソグラフィ処理が可能です。SATURN SPECTRUM 3 Eには、露光強度、光学イメージング設定など、さまざまな調整可能なパラメータも含まれています。このモデルは、必要に応じてさまざまなマスク、ウェーハ、またはその他の専門的な焦点を選択して素早く揃えることができます。最後に、ULTRATECH Saturn Spectrum 3eには、オンボードダストフィルターや温度に敏感な冷却装置など、さまざまな安全機能が搭載されています。このシステムには、環境事故やその他の不規則な状況の場合の保護ボックスも含まれています。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 Eは、信頼性が高く、効率的で正確なウェーハステッパーです。その多くの機能により、ユーザーは最大限の精度とプロフェッショナルレベルの結果で、自分が望むカスタマイズされたリソグラフィ結果をすばやく作成できます。